 | • レポートコード：MMG23DC07206 • 出版社/出版日：Market Monitor Global / 2025年9月 • レポート形態：英語、PDF、77ページ • 納品方法：Eメール（受注後2-3営業日） • 産業分類：機械&装置 |
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レポート概要
世界の化学ガスドライエッチング装置市場は、2024年に百万ドルと評価され、予測期間中に年平均成長率（CAGR）%で成長し、2031年までに百万米ドルに達すると予測されている。
化学ガスドライエッチング装置は、マイクロエレクトロニクス製造において材料表面の化学エッチングプロセスに使用される装置である。従来のウェットエッチングと比較して、化学ガスドライエッチング装置はエッチングに液体溶液ではなくガス反応を利用するため、「ドライ」エッチングと呼ばれる。化学ガスドライエッチング装置の動作原理は、材料を特定の大気に曝露し、化学的または物理的反応を利用して材料表面の一部を除去することである。特定の化学ガス（フッ化物、塩化物など）とプラズマ発生技術を用い、高エネルギー粒子の形態で材料表面をエッチングする。化学ガスドライエッチング装置の主要構成要素は以下の通り：反応室：エッチング対象の材料試料を配置するエッチング領域を提供する密閉容器。反応室内の環境制御によりエッチングプロセスの安定性と一貫性を確保。ガス供給システム：エッチングに必要な化学ガス混合物を供給。通常、ガス源、ガス制御弁、高純度ガス供給を保証するガス浄化装置を含む。プラズマ源：プラズマを生成する装置で、通常は高周波（RF）またはマイクロ波電源を使用する。プラズマ源はガスをイオン化することで、材料表面をエッチングするための高エネルギー粒子を生成する。制御システム：ガス流量、圧力、電力などのエッチングプロセスパラメータを監視・制御するために使用される。制御システムは特定のエッチング要件に応じてパラメータを調整し、所望のエッチング効果を達成できる。化学ガスドライエッチング装置は、集積回路製造、ナノ加工、光デバイス製造などの分野で広く使用されている。高精度、高選択性、高効率のエッチング能力を有し、マイクロンレベルの構造・パターン形成を実現できる。さらに、ドライエッチングはウェットエッチングと比較して汚染や腐食リスクが低く、特定の材料や構造への適応性に優れている。
米国市場規模は2024年に百万ドルと推定される一方、中国は百万ドルに達する見込みである。
フラットケミカルガスドライエッチング装置セグメントは、今後6年間で%のCAGR（年平均成長率）を示し、2031年までに百万ドル規模に達する見込みである。
化学ガスドライエッチング装置の世界的な主要メーカーには、アプライドマテリアルズ社、ラムリサーチ社、東京エレクトロン社、ASMLホールディング社、KLA社、日立ハイテクノロジーズ社、スクリーンホールディングス社、ニコン社、ASMインターナショナル社、Veeco Instruments社などが含まれます。2024年、世界のトップ5社の収益シェアは約％でした。
MARKET MONITOR GLOBAL, INC（MMG）は、化学ガスドライエッチング装置メーカー、サプライヤー、ディストリビューター、業界専門家を対象に、販売、収益、需要、価格変動、製品タイプ、最新動向と計画、業界トレンド、推進要因、課題、障壁、潜在リスクに関する調査を実施しました。
本レポートは、化学ガスドライエッチング装置の世界市場を定量的・定性的分析の両面から包括的に提示し、読者が事業/成長戦略の策定、市場競争状況の評価、現行市場における自社の位置付け分析、化学ガスドライエッチング装置に関する情報に基づいた事業判断を行うことを支援することを目的としています。本レポートには、以下の市場情報を含む化学ガスドライエッチング装置の世界市場規模と予測が含まれています：
世界の化学ガスドライエッチング装置市場収益（2020-2025年、2026-2031年、単位：百万ドル）
世界の化学ガスドライエッチング装置市場販売台数、2020-2025年、2026-2031年（台）
2024年における世界の化学ガスドライエッチング装置トップ5企業（%）
セグメント別市場規模：
タイプ別グローバル化学ガスドライエッチング装置市場、2020-2025年、2026-2031年（百万ドル）＆（台数）
2024年 タイプ別 化学ガスドライエッチング装置市場セグメント割合（％）
フラット型化学ガスドライエッチング装置
バレル型化学ガスドライエッチング装置
反応室型化学ガスドライエッチング装置
用途別グローバル化学ガスドライエッチング装置市場、2020-2025年、2026-2031年（百万ドル）＆（台数）
用途別グローバル化学ガスドライエッチング装置市場セグメント割合、2024年（％）
半導体産業
オプトエレクトロニクス産業
バイオメディカル産業
ナノ産業
その他
世界の化学ガスドライエッチング装置市場、地域・国別、2020-2025年、2026-2031年（百万ドル）＆（台数）
地域および国別のグローバル化学ガスドライエッチング装置市場セグメント割合、2024年（％）
北米
米国
カナダ
メキシコ
欧州
ドイツ
フランス
イギリス
イタリア
ロシア
北欧諸国
ベネルクス
その他のヨーロッパ諸国
アジア
中国
日本
韓国
東南アジア
インド
アジアその他
南アメリカ
ブラジル
アルゼンチン
南米その他
中東・アフリカ
トルコ
イスラエル
サウジアラビア
アラブ首長国連邦
その他中東・アフリカ
競合分析
本レポートでは、主要市場参加者の分析も提供しています：
主要企業別 化学ガスドライエッチング装置の世界市場売上高（2020-2025年、推定値）、（百万ドル）
主要企業別化学ガスドライエッチング装置の世界市場における売上高シェア（2024年）（％）
主要企業 化学ガスドライエッチング装置の世界市場における販売台数、2020-2025年（推定）、（台）
主要企業 化学ガスドライエッチング装置の世界市場における販売シェア、2024年（％）
さらに、本レポートでは市場における競合他社のプロファイルを提示しており、主要プレイヤーには以下が含まれます：
アプライド マテリアルズ社
ラムリサーチ社
東京エレクトロン株式会社
ASMLホールディングN.V.
KLAコーポレーション
日立ハイテクノロジーズ株式会社
スクリーンホールディングス株式会社
ニコン株式会社
ASMインターナショナルN.V.
Veeco Instruments Inc.
SPTSテクノロジーズ株式会社
マッソン・テクノロジー社
アクセルシス・テクノロジーズ株式会社
主要章の概要：
第1章：化学ガスドライエッチング装置の定義と市場概要を紹介。
第2章：世界の化学ガスドライエッチング装置の市場規模（収益と数量）。
第3章：化学ガスドライエッチング装置メーカーの競争環境、価格、販売量・収益シェア、最新開発計画、合併・買収情報などの詳細分析。
第4章：タイプ別市場セグメント分析を提供し、各セグメントの市場規模と成長可能性をカバー。読者が異なる市場セグメントにおけるブルーオーシャン市場を発見する支援。
第5章：用途別市場セグメント分析を提供。各セグメントの市場規模と発展可能性を網羅し、読者が異なる下流市場におけるブルーオーシャン市場を発見するのを支援。
第6章：化学ガスドライエッチング装置の地域別・国別販売状況。各地域及び主要国の市場規模と発展可能性の定量分析を提供し、世界の各国の市場発展状況、将来の発展見通し、市場規模を紹介する。
第7章：主要企業のプロファイルを提供し、市場における主要企業の基本状況を詳細に紹介。製品販売、収益、価格、粗利益率、製品紹介、最近の開発状況などを含む。
第8章：地域別・国別の化学ガスドライエッチング装置の世界生産能力。
第9章：市場動向、市場の最新動向、市場の推進要因と制約要因、業界メーカーが直面する課題とリスク、および業界の関連政策の分析を紹介。
第10章：産業チェーン分析（産業の上流・下流を含む）。
第11章：報告書の要点と結論。
1 研究・分析レポートの概要
1.1 化学ガスドライエッチング装置市場の定義
1.2 市場セグメント
1.2.1 タイプ別セグメント
1.2.2 用途別セグメント
1.3 世界の化学ガスドライエッチング装置市場概要
1.4 本レポートの特徴と利点
1.5 調査方法と情報源
1.5.1 調査方法論
1.5.2 調査プロセス
1.5.3 基準年
1.5.4 レポートの前提条件と注意事項
2 世界の化学ガスドライエッチング装置市場規模
2.1 世界の化学ガスドライエッチング装置市場規模：2024年対2031年
2.2 世界の化学ガスドライエッチング装置市場規模、見通し及び予測：2020-2031年
2.3 世界の化学ガスドライエッチング装置販売：2020-2031年
3 企業動向
3.1 グローバル市場における主要化学ガスドライエッチング装置メーカー
3.2 収益別上位グローバル化学ガスドライエッチング装置企業ランキング
3.3 企業別グローバル化学ガスドライエッチング装置収益
3.4 企業別グローバル化学ガスドライエッチング装置販売台数
3.5 メーカー別グローバル化学ガスドライエッチング装置価格（2020-2025年）
3.6 2024年売上高ベースの世界市場における化学ガスドライエッチング装置トップ3社およびトップ5社
3.7 グローバルメーカー別化学ガスドライエッチング装置製品タイプ
3.8 グローバル市場におけるティア1、ティア2、ティア3の化学ガスドライエッチング装置メーカー
3.8.1 グローバルティア1化学ガスドライエッチング装置企業一覧
3.8.2 グローバルティア2およびティア3化学ガスドライエッチング装置メーカー一覧
4 製品別展望
4.1 概要
4.1.1 タイプ別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置市場規模、2024年および2031年
4.1.2 フラット化学ガスドライエッチング装置
4.1.3 バレル型化学ガスドライエッチング装置
4.1.4 反応室型化学ガスドライエッチング装置
4.2 タイプ別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置の収益と予測
4.2.1 タイプ別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置収益、2020-2025年
4.2.2 タイプ別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置収益、2026-2031年
4.2.3 タイプ別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置収益市場シェア、2020-2031年
4.3 タイプ別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置の販売量と予測
4.3.1 タイプ別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置販売、2020-2025年
4.3.2 タイプ別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置販売、2026-2031年
4.3.3 タイプ別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置販売市場シェア、2020-2031年
4.4 タイプ別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置価格（メーカー販売価格）、2020-2031年
5 用途別市場動向
5.1 概要
5.1.1 用途別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置市場規模、2024年および2031年
5.1.2 半導体産業
5.1.3 オプトエレクトロニクス産業
5.1.4 バイオメディカル産業
5.1.5 ナノ産業
5.1.6 その他
5.2 用途別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置の収益と予測
5.2.1 用途別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置収益、2020-2025年
5.2.2 用途別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置収益、2026-2031年
5.2.3 用途別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置収益市場シェア、2020-2031年
5.3 用途別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置の販売量と予測
5.3.1 用途別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置販売、2020-2025年
5.3.2 用途別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置販売、2026-2031年
5.3.3 用途別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置販売市場シェア、2020-2031年
5.4 用途別セグメント – 世界の化学ガスドライエッチング装置価格（メーカー販売価格）、2020-2031年
6 地域別展望
6.1 地域別 – 世界の化学ガスドライエッチング装置市場規模、2024年及び2031年
6.2 地域別 – 世界の化学ガスドライエッチング装置の収益と予測
6.2.1 地域別 – 世界の化学ガスドライエッチング装置収益、2020-2025年
6.2.2 地域別 – 世界の化学ガスドライエッチング装置収益、2026-2031年
6.2.3 地域別 – 世界の化学ガスドライエッチング装置収益市場シェア、2020-2031年
6.3 地域別 – 世界の化学ガスドライエッチング装置の販売量と予測
6.3.1 地域別 – 世界の化学ガスドライエッチング装置販売台数、2020-2025年
6.3.2 地域別 – 世界の化学ガスドライエッチング装置販売台数、2026-2031年
6.3.3 地域別 – 世界の化学ガスドライエッチング装置販売市場シェア、2020-2031年
6.4 北米
6.4.1 国別 – 北米化学ガスドライエッチング装置収益、2020-2031年
6.4.2 国別 – 北米化学ガスドライエッチング装置販売台数、2020-2031年
6.4.3 米国化学ガスドライエッチング装置市場規模、2020-2031
6.4.4 カナダにおける化学ガスドライエッチング装置の市場規模、2020-2031年
6.4.5 メキシコにおける化学ガスドライエッチング装置の市場規模、2020-2031年
6.5 欧州
6.5.1 国別 – 欧州化学ガスドライエッチング装置収益、2020-2031年
6.5.2 国別 – 欧州化学ガスドライエッチング装置販売台数、2020-2031年
6.5.3 ドイツにおける化学ガスドライエッチング装置の市場規模、2020-2031年
6.5.4 フランスにおける化学ガスドライエッチング装置の市場規模（2020-2031年）
6.5.5 イギリスにおける化学ガスドライエッチング装置の市場規模、2020-2031年
6.5.6 イタリアにおける化学ガスドライエッチング装置の市場規模、2020-2031年
6.5.7 ロシアの化学ガスドライエッチング装置市場規模、2020-2031年
6.5.8 北欧諸国における化学ガスドライエッチング装置市場規模（2020-2031年）
6.5.9 ベネルクス諸国における化学ガスドライエッチング装置の市場規模（2020-2031年）
6.6 アジア
6.6.1 地域別 – アジア化学ガスドライエッチング装置収益、2020-2031年
6.6.2 地域別 – アジアの化学ガスドライエッチング装置販売台数、2020-2031年
6.6.3 中国化学ガスドライエッチング装置市場規模、2020-2031年
6.6.4 日本における化学ガスドライエッチング装置の市場規模、2020-2031年
6.6.5 韓国の化学ガスドライエッチング装置市場規模、2020-2031年
6.6.6 東南アジアにおける化学ガスドライエッチング装置の市場規模、2020-2031年
6.6.7 インドの化学ガスドライエッチング装置市場規模、2020-2031年
6.7 南米
6.7.1 国別 – 南米化学ガスドライエッチング装置収益、2020-2031年
6.7.2 国別 – 南米の化学ガスドライエッチング装置販売台数、2020-2031年
6.7.3 ブラジルにおける化学ガスドライエッチング装置の市場規模、2020-2031年
6.7.4 アルゼンチンにおける化学ガスドライエッチング装置の市場規模（2020-2031年）
6.8 中東・アフリカ
6.8.1 国別 – 中東・アフリカにおける化学ガスドライエッチング装置の収益、2020-2031年
6.8.2 国別 – 中東・アフリカにおける化学ガスドライエッチング装置の販売台数、2020-2031年
6.8.3 トルコにおける化学ガスドライエッチング装置の市場規模、2020-2031年
6.8.4 イスラエルの化学ガスドライエッチング装置市場規模、2020-2031年
6.8.5 サウジアラビアの化学ガスドライエッチング装置市場規模、2020-2031年
6.8.6 アラブ首長国連邦（UAE）の化学ガスドライエッチング装置市場規模、2020-2031年
7 メーカー及びブランドプロファイル
7.1 アプライド マテリアルズ社
7.1.1 アプライド マテリアルズ社 会社概要
7.1.2 アプライド マテリアルズ社 事業概要
7.1.3 アプライド マテリアルズ社 化学ガスドライエッチング装置 主な製品ラインアップ
7.1.4 アプライド マテリアルズ社 化学ガスドライエッチング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.1.5 アプライド マテリアルズ社の主なニュースと最新動向
7.2 ラム・リサーチ社
7.2.1 ラムリサーチ社 会社概要
7.2.2 ラムリサーチ社の事業概要
7.2.3 ラムリサーチ社の化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.2.4 ラムリサーチ社 化学ガスドライエッチング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.2.5 ラムリサーチ社の主なニュースと最新動向
7.3 東京エレクトロン株式会社
7.3.1 東京エレクトロン株式会社 会社概要
7.3.2 東京エレクトロン株式会社 事業概要
7.3.3 東京エレクトロン株式会社の化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.3.4 東京エレクトロン株式会社 化学ガスドライエッチング装置の世界における売上高および収益 (2020-2025)
7.3.5 東京エレクトロン株式会社の主なニュースと最新動向
7.4 ASML Holding N.V.
7.4.1 ASML Holding N.V. 会社概要
7.4.2 ASMLホールディングN.V. 事業概要
7.4.3 ASML Holding N.V. 化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.4.4 ASML Holding N.V. 化学ガスドライエッチング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.4.5 ASML Holding N.V. 主要ニュースと最新動向
7.5 KLA Corporation
7.5.1 KLA Corporation 会社概要
7.5.2 KLA Corporation 事業概要
7.5.3 KLA Corporation 化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.5.4 KLA Corporation 化学ガスドライエッチング装置の世界売上高と収益（2020-2025）
7.5.5 KLA Corporation 主要ニュース及び最新動向
7.6 日立ハイテクノロジーズ株式会社
7.6.1 日立ハイテクノロジーズ株式会社 会社概要
7.6.2 日立ハイテクノロジーズ株式会社 事業概要
7.6.3 日立ハイテクノロジーズ株式会社の化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.6.4 日立ハイテクノロジーズ株式会社 化学ガスドライエッチング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.6.5 日立ハイテクノロジーズ株式会社の主なニュースと最新動向
7.7 スクリーンホールディングス株式会社
7.7.1 スクリーンホールディングス株式会社 会社概要
7.7.2 スクリーンホールディングス株式会社 事業概要
7.7.3 スクリーンホールディングス株式会社 化学ガスドライエッチング装置 主な製品ラインアップ
7.7.4 SCREENホールディングス株式会社 化学ガスドライエッチング装置の世界における売上高および収益 (2020-2025)
7.7.5 SCREENホールディングス株式会社の主なニュースと最新動向
7.8 ニコン株式会社
7.8.1 ニコン株式会社 会社概要
7.8.2 ニコン株式会社 事業概要
7.8.3 ニコン株式会社の化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.8.4 ニコン株式会社 化学ガスドライエッチング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.8.5 ニコン株式会社の主なニュースと最新動向
7.9 ASMインターナショナルN.V.
7.9.1 ASMインターナショナルN.V. 会社概要
7.9.2 ASMインターナショナルN.V. 事業概要
7.9.3 ASMインターナショナルN.V. 化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.9.4 ASM International N.V. 化学ガスドライエッチング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.9.5 ASMインターナショナルN.V. 主要ニュースと最新動向
7.10 ヴィーコ・インスツルメンツ社
7.10.1 ヴィーコ・インスツルメンツ社の会社概要
7.10.2 ビーコ・インスツルメンツ社の事業概要
7.10.3 Veeco Instruments Inc. 化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.10.4 ビーコ・インスツルメンツ社の化学ガスドライエッチング装置の世界的な売上高と収益（2020-2025年）
7.10.5 ヴィーコ・インスツルメンツ社の主なニュースと最新動向
7.11 SPTSテクノロジーズ株式会社
7.11.1 SPTS Technologies Ltd. 会社概要
7.11.2 SPTSテクノロジーズ株式会社 事業概要
7.11.3 SPTS Technologies Ltd. 化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.11.4 SPTS Technologies Ltd. 化学ガスドライエッチング装置の世界における売上高および収益 (2020-2025)
7.11.5 SPTS Technologies Ltd. 主要ニュースと最新動向
7.12 マットソン・テクノロジー社
7.12.1 マットソン・テクノロジー社 会社概要
7.12.2 マットソン・テクノロジー社の事業概要
7.12.3 マットソン・テクノロジー社の化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.12.4 マットソン・テクノロジー社 化学ガスドライエッチング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.12.5 マットソン・テクノロジー社の主なニュースと最新動向
7.13 アクセルシス・テクノロジーズ社
7.13.1 アクセルシス・テクノロジーズ社の会社概要
7.13.2 アクセルシス・テクノロジーズ社の事業概要
7.13.3 Axcelis Technologies, Inc. 化学ガスドライエッチング装置の主要製品ラインアップ
7.13.4 Axcelis Technologies, Inc. 化学ガスドライエッチング装置の世界売上高および収益 (2020-2025)
7.13.5 Axcelis Technologies, Inc. 主要ニュース及び最新動向
8 世界の化学ガスドライエッチング装置の生産能力と分析
8.1 世界の化学ガスドライエッチング装置生産能力（2020-2031年）
8.2 グローバル市場における主要メーカーの化学ガスドライエッチング装置生産能力
8.3 地域別グローバル化学ガスドライエッチング装置生産量
9 主要市場動向、機会、推進要因および抑制要因
9.1 市場機会と動向
9.2 市場推進要因
9.3 市場の制約要因
10 化学ガスドライエッチング装置のサプライチェーン分析
10.1 化学ガスドライエッチング装置産業バリューチェーン
10.2 化学ガスドライエッチング装置の上流市場
10.3 化学ガスドライエッチング装置の下流市場と顧客
10.4 マーケティングチャネル分析
10.4.1 マーケティングチャネル
10.4.2 世界の化学ガスドライエッチング装置販売代理店・販売代理店
11 結論
12 付録
12.1 注記
12.2 クライアントの例
12.3 免責事項
1.1 Chemical Gas Dry Etching Machine Market Definition
1.2 Market Segments
1.2.1 Segment by Type
1.2.2 Segment by Application
1.3 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Market Overview
1.4 Features & Benefits of This Report
1.5 Methodology & Sources of Information
1.5.1 Research Methodology
1.5.2 Research Process
1.5.3 Base Year
1.5.4 Report Assumptions & Caveats
2 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Overall Market Size
2.1 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size: 2024 VS 2031
2.2 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, Prospects & Forecasts: 2020-2031
2.3 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales: 2020-2031
3 Company Landscape
3.1 Top Chemical Gas Dry Etching Machine Players in Global Market
3.2 Top Global Chemical Gas Dry Etching Machine Companies Ranked by Revenue
3.3 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue by Companies
3.4 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales by Companies
3.5 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Price by Manufacturer (2020-2025)
3.6 Top 3 and Top 5 Chemical Gas Dry Etching Machine Companies in Global Market, by Revenue in 2024
3.7 Global Manufacturers Chemical Gas Dry Etching Machine Product Type
3.8 Tier 1, Tier 2, and Tier 3 Chemical Gas Dry Etching Machine Players in Global Market
3.8.1 List of Global Tier 1 Chemical Gas Dry Etching Machine Companies
3.8.2 List of Global Tier 2 and Tier 3 Chemical Gas Dry Etching Machine Companies
4 Sights by Product
4.1 Overview
4.1.1 Segment by Type - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size Markets, 2024 & 2031
4.1.2 Flat Chemical Gas Dry Etching Machine
4.1.3 Barrel Chemical Gas Dry Etching Machine
4.1.4 Reaction Chamber Chemical Gas Dry Etching Machine
4.2 Segment by Type - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue & Forecasts
4.2.1 Segment by Type - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2020-2025
4.2.2 Segment by Type - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2026-2031
4.2.3 Segment by Type - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue Market Share, 2020-2031
4.3 Segment by Type - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales & Forecasts
4.3.1 Segment by Type - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2020-2025
4.3.2 Segment by Type - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2026-2031
4.3.3 Segment by Type - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales Market Share, 2020-2031
4.4 Segment by Type - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Price (Manufacturers Selling Prices), 2020-2031
5 Sights by Application
5.1 Overview
5.1.1 Segment by Application - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2024 & 2031
5.1.2 Semiconductor Industry
5.1.3 Optoelectronics Industry
5.1.4 Biomedical Industry
5.1.5 Nano Industry
5.1.6 Others
5.2 Segment by Application - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue & Forecasts
5.2.1 Segment by Application - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2020-2025
5.2.2 Segment by Application - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2026-2031
5.2.3 Segment by Application - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue Market Share, 2020-2031
5.3 Segment by Application - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales & Forecasts
5.3.1 Segment by Application - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2020-2025
5.3.2 Segment by Application - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2026-2031
5.3.3 Segment by Application - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales Market Share, 2020-2031
5.4 Segment by Application - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Price (Manufacturers Selling Prices), 2020-2031
6 Sights by Region
6.1 By Region - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2024 & 2031
6.2 By Region - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue & Forecasts
6.2.1 By Region - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2020-2025
6.2.2 By Region - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2026-2031
6.2.3 By Region - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue Market Share, 2020-2031
6.3 By Region - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales & Forecasts
6.3.1 By Region - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2020-2025
6.3.2 By Region - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2026-2031
6.3.3 By Region - Global Chemical Gas Dry Etching Machine Sales Market Share, 2020-2031
6.4 North America
6.4.1 By Country - North America Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2020-2031
6.4.2 By Country - North America Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2020-2031
6.4.3 United States Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.4.4 Canada Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.4.5 Mexico Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.5 Europe
6.5.1 By Country - Europe Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2020-2031
6.5.2 By Country - Europe Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2020-2031
6.5.3 Germany Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.5.4 France Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.5.5 U.K. Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.5.6 Italy Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.5.7 Russia Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.5.8 Nordic Countries Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.5.9 Benelux Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.6 Asia
6.6.1 By Region - Asia Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2020-2031
6.6.2 By Region - Asia Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2020-2031
6.6.3 China Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.6.4 Japan Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.6.5 South Korea Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.6.6 Southeast Asia Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.6.7 India Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.7 South America
6.7.1 By Country - South America Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2020-2031
6.7.2 By Country - South America Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2020-2031
6.7.3 Brazil Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.7.4 Argentina Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.8 Middle East & Africa
6.8.1 By Country - Middle East & Africa Chemical Gas Dry Etching Machine Revenue, 2020-2031
6.8.2 By Country - Middle East & Africa Chemical Gas Dry Etching Machine Sales, 2020-2031
6.8.3 Turkey Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.8.4 Israel Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.8.5 Saudi Arabia Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
6.8.6 UAE Chemical Gas Dry Etching Machine Market Size, 2020-2031
7 Manufacturers & Brands Profiles
7.1 Applied Materials, Inc.
7.1.1 Applied Materials, Inc. Company Summary
7.1.2 Applied Materials, Inc. Business Overview
7.1.3 Applied Materials, Inc. Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.1.4 Applied Materials, Inc. Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.1.5 Applied Materials, Inc. Key News & Latest Developments
7.2 Lam Research Corporation
7.2.1 Lam Research Corporation Company Summary
7.2.2 Lam Research Corporation Business Overview
7.2.3 Lam Research Corporation Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.2.4 Lam Research Corporation Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.2.5 Lam Research Corporation Key News & Latest Developments
7.3 Tokyo Electron Limited
7.3.1 Tokyo Electron Limited Company Summary
7.3.2 Tokyo Electron Limited Business Overview
7.3.3 Tokyo Electron Limited Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.3.4 Tokyo Electron Limited Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.3.5 Tokyo Electron Limited Key News & Latest Developments
7.4 ASML Holding N.V.
7.4.1 ASML Holding N.V. Company Summary
7.4.2 ASML Holding N.V. Business Overview
7.4.3 ASML Holding N.V. Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.4.4 ASML Holding N.V. Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.4.5 ASML Holding N.V. Key News & Latest Developments
7.5 KLA Corporation
7.5.1 KLA Corporation Company Summary
7.5.2 KLA Corporation Business Overview
7.5.3 KLA Corporation Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.5.4 KLA Corporation Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.5.5 KLA Corporation Key News & Latest Developments
7.6 Hitachi High-Technologies Corporation
7.6.1 Hitachi High-Technologies Corporation Company Summary
7.6.2 Hitachi High-Technologies Corporation Business Overview
7.6.3 Hitachi High-Technologies Corporation Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.6.4 Hitachi High-Technologies Corporation Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.6.5 Hitachi High-Technologies Corporation Key News & Latest Developments
7.7 SCREEN Holdings Co., Ltd.
7.7.1 SCREEN Holdings Co., Ltd. Company Summary
7.7.2 SCREEN Holdings Co., Ltd. Business Overview
7.7.3 SCREEN Holdings Co., Ltd. Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.7.4 SCREEN Holdings Co., Ltd. Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.7.5 SCREEN Holdings Co., Ltd. Key News & Latest Developments
7.8 Nikon Corporation
7.8.1 Nikon Corporation Company Summary
7.8.2 Nikon Corporation Business Overview
7.8.3 Nikon Corporation Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.8.4 Nikon Corporation Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.8.5 Nikon Corporation Key News & Latest Developments
7.9 ASM International N.V.
7.9.1 ASM International N.V. Company Summary
7.9.2 ASM International N.V. Business Overview
7.9.3 ASM International N.V. Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.9.4 ASM International N.V. Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.9.5 ASM International N.V. Key News & Latest Developments
7.10 Veeco Instruments Inc.
7.10.1 Veeco Instruments Inc. Company Summary
7.10.2 Veeco Instruments Inc. Business Overview
7.10.3 Veeco Instruments Inc. Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.10.4 Veeco Instruments Inc. Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.10.5 Veeco Instruments Inc. Key News & Latest Developments
7.11 SPTS Technologies Ltd.
7.11.1 SPTS Technologies Ltd. Company Summary
7.11.2 SPTS Technologies Ltd. Business Overview
7.11.3 SPTS Technologies Ltd. Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.11.4 SPTS Technologies Ltd. Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.11.5 SPTS Technologies Ltd. Key News & Latest Developments
7.12 Mattson Technology, Inc.
7.12.1 Mattson Technology, Inc. Company Summary
7.12.2 Mattson Technology, Inc. Business Overview
7.12.3 Mattson Technology, Inc. Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.12.4 Mattson Technology, Inc. Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.12.5 Mattson Technology, Inc. Key News & Latest Developments
7.13 Axcelis Technologies, Inc.
7.13.1 Axcelis Technologies, Inc. Company Summary
7.13.2 Axcelis Technologies, Inc. Business Overview
7.13.3 Axcelis Technologies, Inc. Chemical Gas Dry Etching Machine Major Product Offerings
7.13.4 Axcelis Technologies, Inc. Chemical Gas Dry Etching Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.13.5 Axcelis Technologies, Inc. Key News & Latest Developments
8 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Production Capacity, Analysis
8.1 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Production Capacity, 2020-2031
8.2 Chemical Gas Dry Etching Machine Production Capacity of Key Manufacturers in Global Market
8.3 Global Chemical Gas Dry Etching Machine Production by Region
9 Key Market Trends, Opportunity, Drivers and Restraints
9.1 Market Opportunities & Trends
9.2 Market Drivers
9.3 Market Restraints
10 Chemical Gas Dry Etching Machine Supply Chain Analysis
10.1 Chemical Gas Dry Etching Machine Industry Value Chain
10.2 Chemical Gas Dry Etching Machine Upstream Market
10.3 Chemical Gas Dry Etching Machine Downstream and Clients
10.4 Marketing Channels Analysis
10.4.1 Marketing Channels
10.4.2 Chemical Gas Dry Etching Machine Distributors and Sales Agents in Global
11 Conclusion
12 Appendix
12.1 Note
12.2 Examples of Clients
12.3 Disclaimer
| 【化学ガスドライエッチング装置について】 ※化学ガスドライエッチング装置は、半導体製造や材料加工業界において、重要な役割を果たす装置です。これは、材料の表面を特定のパターンで選択的に削り取るプロセスに使用されます。特に、微細加工技術が必要とされるコンピュータチップやディスプレイ基板の製造においては、欠かせない存在です。 化学ガスドライエッチングは、主に気相化学反応を利用して、固体材料の表面に作用します。このプロセスでは、エッチングに用いるガスが装置内で化学反応を起こし、材料を削り取ります。一般的には、反応性ガスが真空環境下で基板と接触し、特定の分子が基板表面に附着し、さらに反応を引き起こすことで、エッチングされる材料が気体として排出される仕組みです。このようなプロセスでは、物理的な削り取りではなく、化学的な反応によって表面を加工するため、高精度で精細なパターン形成が可能です。 化学ガスドライエッチング装置の特徴の一つは、高い選択性を持つことです。選択性とは、特定の材料のみをエッチングし、他の材料を損なうことなく保持する能力を指します。この特性は、半導体デバイスにおいて非常に重要で、異なる材料を重ね合わせて構成される多層構造のデバイスでは、特に価値があります。選択性が高いことにより、エッチングプロセス中に無関係な材料を傷めるリスクを減少させることができます。 さらに、化学ガスドライエッチング装置は、温度や圧力、ガスの種類などを制御することにより、エッチング速度や表面品質を調整することができます。この柔軟性は、異なる材料やプロセス条件に応じて適切なエッチングを行うために重要です。また、装置には多くのセンサーや制御システムが組み込まれており、リアルタイムでプロセスを監視・調整することが可能です。これにより、効率的で安定した生産が実現されます。 化学ガスドライエッチングの種類には、主にプラズマエッチングと湿式エッチングがあります。プラズマエッチングは、気体をプラズマ状態にし、電子やイオンを生成して材料をエッチングする方法です。これにより、より高いエネルギーを材料に照射することができ、微細なパターンを形成することが可能となります。一方、湿式エッチングは液体薬品を使用する方法であり、主に金属や酸化物のエッチングに用いられます。湿式エッチングは、比較的簡単なプロセスである反面、選択性や精度に限界があるため、特に微細加工には不向きです。 用途においては、化学ガスドライエッチングは主に半導体製造やマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、光学部品、さらには耐熱材料の表面加工などに広く利用されています。半導体製造においては、トランジスタや集積回路の各種層を形成するために、正確な形状や寸法を持ったパターンを転写するために不可欠です。MEMSにおいては、センサーやアクチュエーターなどの構造を微細に作成するために、精密なエッチングが求められます。光学部品の加工では、光学特性を持った薄膜やレンズの形成に使用されます。 関連技術として、化学ガスドライエッチングのプロセスにおける制御技術が挙げられます。例えば、リアルタイムプロセスモニタリングシステムや自動化システムは、エッチングの品質を維持するために重要です。これらの技術により、装置の稼働状況を常に把握し、問題が発生した場合には迅速に対処することが可能となります。また、新しいエッチングガスや前処理技術の開発も進められており、選択性やエッチング速度を向上させるための研究が活発に行われています。 総じて、化学ガスドライエッチング装置は、現代の高精度な材料加工を支える重要な技術です。半導体産業の進展や、新たな材料の開発に伴い、その重要性はますます高まっています。今後もこの技術は進化を続け、新しい用途や応用が開拓されていくことでしょう。このように、化学ガスドライエッチングは、製造業における基盤技術として、今后の発展に寄与していくことが期待されています。 |
