 | • レポートコード：MRC-IPR02868 • 発行年月：2025年7月 • レポート形態：英文PDF • 納品方法：Eメール（納期：2～3日） • 産業分類：材料・化学 |
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レポート概要
SiOx（1
SiOxの特徴としては、優れた絶縁性や耐熱性が挙げられます。また、透明性を持ち、光学的特性を利用したアプリケーションにも対応可能です。さらに、化学的安定性が高く、さまざまな環境条件下でも性能を維持することができます。このため、薄膜トランジスタや太陽光発電パネルの保護層、さらにはバッテリーの絶縁材料としても用いられています。
SiOxは、一般的にはスパッタリングや化学蒸着法（CVD）などの薄膜形成技術を用いて製造されます。これにより、薄膜の厚さや構造を調整することができ、特定の用途に応じた最適化が可能です。また、SiOxは高い機械的強度を持ち、外部からの衝撃や摩耗に対しても優れた耐性を示します。
さらに、SiOxはナノテクノロジーの分野でも注目されています。ナノ粒子として利用することで、新たな機能性材料の開発が進められ、センサーや触媒、医療技術など幅広い応用が期待されています。このように、SiOx（1
SiOx (1