{"id":60816,"date":"2025-12-20T17:50:44","date_gmt":"2025-12-20T08:50:44","guid":{"rendered":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/ald-equipment-market-straits\/"},"modified":"2026-09-18T08:24:59","modified_gmt":"2026-09-17T23:24:59","slug":"ald-equipment-market-straits","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/ald-equipment-market-straits\/","title":{"rendered":"ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u3068\u5c55\u671b 2025-2033\u5e74"},"content":{"rendered":"<p><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-content\/uploads\/2025\/12\/ald-equipment-market-56445.jpg\" alt=\"Market Image 1\" style=\"max-width:100%; height:auto; margin-bottom: 20px;\" \/><br \/><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-content\/uploads\/2025\/12\/market-share.webp-4256.jpg\" alt=\"Market Image 2\" style=\"max-width:100%; height:auto; margin-bottom: 20px;\" \/><\/p>\n<h2>Report Coverage &#038; Structure<\/h2>\n<ul>\n<li>\u76ee\u6b21\n<ul>\n<li>\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c6\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3<\/li>\n<li>\u8abf\u67fb\u65b9\u6cd5<\/li>\n<li>\u7121\u6599\u30b5\u30f3\u30d7\u30eb\u3092\u5165\u624b<\/li>\n<li>\u76ee\u6b21\n<ul>\n<li>\u30a8\u30b0\u30bc\u30af\u30c6\u30a3\u30d6\u30b5\u30de\u30ea\u30fc<\/li>\n<li>\u8abf\u67fb\u7bc4\u56f2\u3068\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c6\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3<\/li>\n<li>\u8abf\u67fb\u76ee\u7684<\/li>\n<li>\u5236\u9650\u4e8b\u9805\u3068\u4eee\u5b9a<\/li>\n<li>\u5e02\u5834\u7bc4\u56f2\u3068\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c6\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3<\/li>\n<li>\u8003\u616e\u3055\u308c\u308b\u901a\u8ca8\u3068\u4fa1\u683c\u8a2d\u5b9a<\/li>\n<li>\u5e02\u5834\u6a5f\u4f1a\u8a55\u4fa1\n<ul>\n<li>\u65b0\u8208\u5730\u57df\/\u56fd<\/li>\n<li>\u65b0\u8208\u4f01\u696d<\/li>\n<li>\u65b0\u8208\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\/\u6700\u7d42\u7528\u9014<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5e02\u5834\u30c8\u30ec\u30f3\u30c9\n<ul>\n<li>\u63a8\u9032\u8981\u56e0<\/li>\n<li>\u5e02\u5834\u306e\u8b66\u6212\u8981\u56e0<\/li>\n<li>\u6700\u65b0\u306e\u30de\u30af\u30ed\u7d4c\u6e08\u6307\u6a19<\/li>\n<li>\u5730\u653f\u5b66\u7684\u306a\u5f71\u97ff<\/li>\n<li>\u6280\u8853\u7684\u8981\u56e0<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5e02\u5834\u8a55\u4fa1\n<ul>\n<li>\u30dd\u30fc\u30bf\u30fc\u306e5\u3064\u306e\u529b\u5206\u6790<\/li>\n<li>\u30d0\u30ea\u30e5\u30fc\u30c1\u30a7\u30fc\u30f3\u5206\u6790<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u898f\u5236\u306e\u67a0\u7d44\u307f\n<ul>\n<li>\u5317\u7c73<\/li>\n<li>\u6b27\u5dde<\/li>\n<li>\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b<\/li>\n<li>\u4e2d\u6771\u304a\u3088\u3073\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab<\/li>\n<li>\u30e9\u30c6\u30f3\u30a2\u30e1\u30ea\u30ab<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>ESG\u30c8\u30ec\u30f3\u30c9<\/li>\n<li>\u4e16\u754c\u306eALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u5206\u6790\n<ul>\n<li>\u4e16\u754c\u306eALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e\u6982\u8981\n<ul>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5317\u7c73\u5e02\u5834\u5206\u6790\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7c73\u56fd\n<ul>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30ab\u30ca\u30c0<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6b27\u5dde\u5e02\u5834\u5206\u6790\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u82f1\u56fd\n<ul>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30c9\u30a4\u30c4<\/li>\n<li>\u30d5\u30e9\u30f3\u30b9<\/li>\n<li>\u30b9\u30da\u30a4\u30f3<\/li>\n<li>\u30a4\u30bf\u30ea\u30a2<\/li>\n<li>\u30ed\u30b7\u30a2<\/li>\n<li>\u5317\u6b27<\/li>\n<li>\u30d9\u30cd\u30eb\u30af\u30b9<\/li>\n<li>\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u6b27\u5dde<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5e02\u5834\u5206\u6790\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u4e2d\u56fd\n<ul>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u97d3\u56fd<\/li>\n<li>\u65e5\u672c<\/li>\n<li>\u30a4\u30f3\u30c9<\/li>\n<li>\u30aa\u30fc\u30b9\u30c8\u30e9\u30ea\u30a2<\/li>\n<li>\u30b7\u30f3\u30ac\u30dd\u30fc\u30eb<\/li>\n<li>\u53f0\u6e7e<\/li>\n<li>\u6771\u5357\u30a2\u30b8\u30a2<\/li>\n<li>\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u4e2d\u6771\u304a\u3088\u3073\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\u5e02\u5834\u5206\u6790\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30e9\u30d6\u9996\u9577\u56fd\u9023\u90a6\n<ul>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30c8\u30eb\u30b3<\/li>\n<li>\u30b5\u30a6\u30b8\u30a2\u30e9\u30d3\u30a2<\/li>\n<li>\u5357\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab<\/li>\n<li>\u30a8\u30b8\u30d7\u30c8<\/li>\n<li>\u30ca\u30a4\u30b8\u30a7\u30ea\u30a2<\/li>\n<li>\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u4e2d\u6771\u304a\u3088\u3073\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30e9\u30c6\u30f3\u30a2\u30e1\u30ea\u30ab\u5e02\u5834\u5206\u6790\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d6\u30e9\u30b8\u30eb\n<ul>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30d0\u30c3\u30c1ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7a7a\u9593ALD\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u534a\u5c0e\u4f53\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u533b\u7642\u6a5f\u5668\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u91d1\u984d<\/li>\n<li>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u81ea\u52d5\u8eca\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\n<ul>\n<li>\u91d1\u984d\u5225<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u30e1\u30ad\u30b7\u30b3<\/li>\n<li>\u30a2\u30eb\u30bc\u30f3\u30c1\u30f3<\/li>\n<li>\u30c1\u30ea<\/li>\n<li>\u30b3\u30ed\u30f3\u30d3\u30a2<\/li>\n<li>\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30e9\u30c6\u30f3\u30a2\u30e1\u30ea\u30ab<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u7af6\u5408\u72b6\u6cc1\n<ul>\n<li>\u30d7\u30ec\u30fc\u30e4\u30fc\u5225ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u30b7\u30a7\u30a2<\/li>\n<li>M&#038;A\u5951\u7d04\u3068\u63d0\u643a\u5206\u6790<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5e02\u5834\u30d7\u30ec\u30fc\u30e4\u30fc\u8a55\u4fa1\n<ul>\n<li>\u30a2\u30d7\u30e9\u30a4\u30c9\u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\u30ba\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\n<ul>\n<li>\u6982\u8981<\/li>\n<li>\u4f01\u696d\u60c5\u5831<\/li>\n<li>\u53ce\u76ca<\/li>\n<li>\u5e73\u5747\u8ca9\u58f2\u4fa1\u683c (ASP)<\/li>\n<li>SWOT\u5206\u6790<\/li>\n<li>\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>ASM\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30ca\u30b7\u30e7\u30ca\u30ebN.V.<\/li>\n<li>\u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e<\/li>\n<li>\u30e9\u30e0\u30ea\u30b5\u30fc\u30c1\u30b3\u30fc\u30dd\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3<\/li>\n<li>\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\u65e5\u7acb\u30cf\u30a4\u30c6\u30af<\/li>\n<li>Veeco\u30a4\u30f3\u30b9\u30c4\u30eb\u30e1\u30f3\u30c4\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e<\/li>\n<li>\u30aa\u30c3\u30af\u30b9\u30d5\u30a9\u30fc\u30c9\u30fb\u30a4\u30f3\u30b9\u30c4\u30eb\u30e1\u30f3\u30c4plc<\/li>\n<li>KLA\u30b3\u30fc\u30dd\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3<\/li>\n<li>Sentech\u30a4\u30f3\u30b9\u30c4\u30eb\u30e1\u30f3\u30c4GmbH<\/li>\n<li>\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\u30a2\u30eb\u30d0\u30c3\u30af<\/li>\n<li>\u30bb\u30df\u30e9\u30dc\u534a\u5c0e\u4f53\u7269\u7406\u5b66\u7814\u7a76\u6240<\/li>\n<li>\u30ab\u30fc\u30c8\u30fbJ\u30fb\u30ec\u30b9\u30ab\u30fc\u793e<\/li>\n<li>\u30ca\u30ce\u30de\u30b9\u30bf\u30fc\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e<\/li>\n<li>AIXTRON SE<\/li>\n<li>TSMC<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u8abf\u67fb\u65b9\u6cd5\n<ul>\n<li>\u8abf\u67fb\u30c7\u30fc\u30bf\n<ul>\n<li>\u4e8c\u6b21\u30c7\u30fc\u30bf\n<ul>\n<li>\u4e3b\u8981\u4e8c\u6b21\u60c5\u5831\u6e90<\/li>\n<li>\u4e8c\u6b21\u60c5\u5831\u6e90\u304b\u3089\u306e\u4e3b\u8981\u30c7\u30fc\u30bf<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u4e00\u6b21\u30c7\u30fc\u30bf\n<ul>\n<li>\u4e00\u6b21\u60c5\u5831\u6e90\u304b\u3089\u306e\u4e3b\u8981\u30c7\u30fc\u30bf<\/li>\n<li>\u4e00\u6b21\u60c5\u5831\u306e\u5185\u8a33<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u4e8c\u6b21\u304a\u3088\u3073\u4e00\u6b21\u8abf\u67fb\n<ul>\n<li>\u4e3b\u8981\u306a\u696d\u754c\u30a4\u30f3\u30b5\u30a4\u30c8<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u306e\u63a8\u5b9a\n<ul>\n<li>\u30dc\u30c8\u30e0\u30a2\u30c3\u30d7\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1<\/li>\n<li>\u30c8\u30c3\u30d7\u30c0\u30a6\u30f3\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1<\/li>\n<li>\u5e02\u5834\u4e88\u6e2c<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u8abf\u67fb\u306e\u4eee\u5b9a\n<ul>\n<li>\u4eee\u5b9a<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u5236\u9650\u4e8b\u9805<\/li>\n<li>\u30ea\u30b9\u30af\u8a55\u4fa1<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u4ed8\u9332\n<ul>\n<li>\u8b70\u8ad6\u30ac\u30a4\u30c9<\/li>\n<li>\u30ab\u30b9\u30bf\u30de\u30a4\u30ba\u30aa\u30d7\u30b7\u30e7\u30f3<\/li>\n<li>\u95a2\u9023\u30ec\u30dd\u30fc\u30c8<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u514d\u8cac\u4e8b\u9805<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>## ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306b\u95a2\u3059\u308b\u8a73\u7d30\u306a\u5e02\u5834\u8abf\u67fb\u30ec\u30dd\u30fc\u30c8\u6982\u8981<\/p>\n<p>### 1. \u5e02\u5834\u6982\u8981<\/p>\n<p>\u4e16\u754c\u306eALD\uff08Atomic Layer Deposition\uff09\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306f\u30012024\u5e74\u306b61.7\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u306e\u898f\u6a21\u3092\u8a18\u9332\u3057\u30012025\u5e74\u306b\u306f68.0\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u306b\u6210\u9577\u3059\u308b\u3068\u4e88\u6e2c\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u305d\u306e\u5f8c\u30012033\u5e74\u307e\u3067\u306b\u306f147.9\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u306b\u9054\u3057\u3001\u4e88\u6e2c\u671f\u9593\uff082025\u5e74\uff5e2033\u5e74\uff09\u4e2d\u306e\u5e74\u5e73\u5747\u6210\u9577\u7387\uff08CAGR\uff09\u306f10.2%\u3068\u898b\u8fbc\u307e\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u5805\u8abf\u306a\u6210\u9577\u306f\u3001ALD\u6280\u8853\u304c\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u6bd4\u985e\u306e\u306a\u3044\u7cbe\u5ea6\u3068\u5747\u4e00\u6027\u306b\u3088\u3063\u3066\u652f\u3048\u3089\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>ALD\u306f\u3001\u539f\u5b50\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u8584\u819c\u3092\u6975\u3081\u3066\u7cbe\u5bc6\u304b\u3064\u5747\u4e00\u306b\u6210\u819c\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3059\u308b\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u8584\u819c\u6210\u819c\u6280\u8853\u3067\u3059\u3002\u3053\u306e\u6280\u8853\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u3001\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3001\u304a\u3088\u3073\u5148\u9032\u5149\u5b66\u3068\u3044\u3063\u305f\u3001\u53b3\u5bc6\u306a\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u5236\u5fa1\u304c\u8981\u6c42\u3055\u308c\u308b\u5206\u91ce\u306b\u304a\u3044\u3066\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002ALD\u306f\u3001\u9023\u7d9a\u7684\u304b\u3064\u81ea\u5df1\u9650\u5b9a\u7684\u306a\u5316\u5b66\u53cd\u5fdc\u3092\u7e70\u308a\u8fd4\u3059\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3092\u901a\u3058\u3066\u6a5f\u80fd\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u975e\u5e38\u306b\u8584\u3044\u819c\u3092\u512a\u308c\u305f\u30b3\u30f3\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30ea\u30c6\u30a3\uff08\u6bb5\u5dee\u88ab\u8986\u6027\uff09\u3067\u6210\u819c\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u53ef\u80fd\u3068\u306a\u308a\u3001\u8907\u96d1\u306a\u5f62\u72b6\u306e\u57fa\u677f\u3078\u306e\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u3084\u9ad8\u6027\u80fd\u90e8\u54c1\u306e\u88fd\u9020\u306b\u6975\u3081\u3066\u9069\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b\u4e3b\u306a\u8981\u56e0\u3068\u3057\u3066\u306f\u3001\u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u5c0f\u578b\u5316\u3068\u6027\u80fd\u5411\u4e0a\u3078\u306e\u9700\u8981\u306e\u9ad8\u307e\u308a\u304c\u6319\u3052\u3089\u308c\u307e\u3059\u3002\u308f\u305a\u304b\u306a\u819c\u539a\u306e\u5909\u52d5\u3067\u3055\u3048\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u6a5f\u80fd\u306b\u5927\u304d\u306a\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001ALD\u306e\u7cbe\u5bc6\u306a\u5236\u5fa1\u80fd\u529b\u304c\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u5148\u9032\u30d0\u30c3\u30c6\u30ea\u30fc\u6280\u8853\u3084\u6700\u5148\u7aef\u306e\u5149\u5b66\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306a\u3069\u3001\u7cbe\u5bc6\u306a\u5c64\u5236\u5fa1\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3059\u308b\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u5897\u52a0\u3082\u3001ALD\u3078\u306e\u95a2\u5fc3\u3092\u9ad8\u3081\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306b\u3001ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306f\u3001\u6280\u8853\u9769\u65b0\u3068\u7523\u696d\u754c\u304b\u3089\u306e\u9ad8\u3044\u8981\u6c42\u306b\u5fdc\u3048\u308b\u5f62\u3067\u3001\u4eca\u5f8c\u3082\u529b\u5f37\u3044\u6210\u9577\u3092\u7d9a\u3051\u308b\u3068\u4e88\u60f3\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>### 2. \u5e02\u5834\u4fc3\u9032\u8981\u56e0<\/p>\n<p>ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u3092\u63a8\u9032\u3059\u308b\u8981\u56e0\u306f\u591a\u5c90\u306b\u308f\u305f\u308a\u307e\u3059\u304c\u3001\u7279\u306b\u4ee5\u4e0b\u306e\u4e8c\u70b9\u304c\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<p>#### 2.1 \u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u5c0f\u578b\u5316\u3068\u9ad8\u6027\u80fd\u5316\u3078\u306e\u9700\u8981<\/p>\n<p>\u6d88\u8cbb\u8005\u304c\u3088\u308a\u5c0f\u578b\u3067\u9ad8\u901f\u3001\u304b\u3064\u9ad8\u6027\u80fd\u306a\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3092\u6c42\u3081\u308b\u50be\u5411\u306f\u3001\u96fb\u5b50\u90e8\u54c1\u8a2d\u8a08\u306e\u9650\u754c\u3092\u62bc\u3057\u5e83\u3052\u3066\u304a\u308a\u3001\u7cbe\u5bc6\u3067\u5236\u5fa1\u3055\u308c\u305f\u88fd\u9020\u6280\u8853\u304c\u4e0d\u53ef\u6b20\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002ALD\u6280\u8853\u306f\u3001\u539f\u5b50\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u306e\u7cbe\u5ea6\u3067\u6975\u8584\u819c\u3092\u6210\u819c\u3059\u308b\u80fd\u529b\u3092\u6301\u3064\u305f\u3081\u3001\u3053\u306e\u8981\u6c42\u306b\u7279\u306b\u9069\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u9ad8\u6027\u80fd\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3084\u96c6\u7a4d\u56de\u8def\u306e\u88fd\u9020\u306b\u304a\u3044\u3066\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<p>\u96fb\u5b50\u90e8\u54c1\u304c\u5c0f\u578b\u5316\u3059\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001\u305d\u306e\u88fd\u9020\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u8907\u96d1\u3055\u306f\u5897\u5927\u3057\u307e\u3059\u3002ALD\u306f\u3001\u8907\u96d1\u306a\u5f62\u72b6\u3092\u5747\u4e00\u304b\u3064\u6b63\u78ba\u306b\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u3059\u308b\u80fd\u529b\u3092\u5099\u3048\u3066\u3044\u308b\u305f\u3081\u3001\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u30e1\u30e2\u30ea\u30c1\u30c3\u30d7\u3001\u5148\u9032\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u3001\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u91cd\u8981\u306a\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u88fd\u9020\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u3082\u306e\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u50be\u5411\u306f\u3001\u30b9\u30de\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30f3\u3001\u30bf\u30d6\u30ec\u30c3\u30c8\u3001\u30a6\u30a7\u30a2\u30e9\u30d6\u30eb\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3068\u3044\u3063\u305f\u6d88\u8cbb\u8005\u5411\u3051\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306b\u304a\u3051\u308b\u6027\u80fd\u5411\u4e0a\u3078\u306e\u30cb\u30fc\u30ba\u306b\u52a0\u3048\u3001\u30d5\u30ec\u30ad\u30b7\u30d6\u30eb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3084IoT\uff08\u30e2\u30ce\u306e\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\uff09\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3068\u3044\u3063\u305f\u65b0\u8208\u6280\u8853\u306b\u3088\u3063\u3066\u3055\u3089\u306b\u52a0\u901f\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306f\u3001\u307e\u3059\u307e\u3059\u30b3\u30f3\u30d1\u30af\u30c8\u3067\u9ad8\u6027\u80fd\u306a\u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u53b3\u3057\u3044\u8981\u4ef6\u3092\u6e80\u305f\u3059\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u9ad8\u5ea6\u306a\u6210\u819c\u6280\u8853\u3078\u306e\u9700\u8981\u306e\u9ad8\u307e\u308a\u306b\u727d\u5f15\u3055\u308c\u3001\u5805\u8abf\u306a\u6210\u9577\u3092\u9042\u3052\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>#### 2.2 \u9ad8\u6027\u80fd\u534a\u5c0e\u4f53\u3078\u306e\u9700\u8981\u306e\u9ad8\u307e\u308a<\/p>\n<p>\u6025\u901f\u306b\u9032\u5316\u3059\u308b\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u5206\u91ce\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u9ad8\u6027\u80fd\u534a\u5c0e\u4f53\u3078\u306e\u9700\u8981\u304c\u6025\u5897\u3057\u3066\u3044\u308b\u3053\u3068\u3082\u3001\u30b0\u30ed\u30fc\u30d0\u30eb\u5e02\u5834\u306e\u8457\u3057\u3044\u6210\u9577\u3092\u5f8c\u62bc\u3057\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30b9\u30de\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30f3\u3001\u30bf\u30d6\u30ec\u30c3\u30c8\u3001\u30a6\u30a7\u30a2\u30e9\u30d6\u30eb\u306a\u3069\u306e\u6d88\u8cbb\u8005\u5411\u3051\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u304c\u9032\u5316\u3059\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001\u512a\u308c\u305f\u6027\u80fd\u3001\u5c0f\u578b\u5316\u3001\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u52b9\u7387\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u3078\u306e\u55ab\u7dca\u306e\u30cb\u30fc\u30ba\u304c\u751f\u307e\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>ALD\u6280\u8853\u306f\u3001\u539f\u5b50\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7cbe\u5ea6\u3067\u6975\u8584\u819c\u3092\u7cbe\u5bc6\u306b\u6210\u819c\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u3001\u3053\u306e\u6587\u8108\u306b\u304a\u3044\u3066\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u7cbe\u5ea6\u306f\u3001\u6a5f\u80fd\u6027\u3001\u4fe1\u983c\u6027\u3001\u52b9\u7387\u6027\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u6b21\u4e16\u4ee3\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u88fd\u9020\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002\u5c0f\u578b\u5316\u3001\u9ad8\u901f\u5316\u3001\u7701\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u5316\u3055\u308c\u305f\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3078\u306e\u30cb\u30fc\u30ba\u306b\u727d\u5f15\u3055\u308c\u305f\u534a\u5c0e\u4f53\u8a2d\u8a08\u306e\u8907\u96d1\u5316\u306f\u3001ALD\u88c5\u7f6e\u3078\u306e\u9700\u8981\u3092\u3055\u3089\u306b\u9ad8\u3081\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u7523\u696d\u304c\u9769\u65b0\u3092\u7d9a\u3051\u3001\u6280\u8853\u306e\u9650\u754c\u3092\u62bc\u3057\u5e83\u3052\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001ALD\u88c5\u7f6e\u306f\u307e\u3059\u307e\u3059\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u3082\u306e\u3068\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002\u305d\u308c\u306f\u3001\u6700\u5148\u7aef\u306e\u96fb\u5b50\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u53b3\u3057\u3044\u6027\u80fd\u8981\u4ef6\u3092\u6e80\u305f\u3059\u305f\u3081\u306b\u5fc5\u8981\u306a\u57fa\u76e4\u6280\u8853\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u304b\u3089\u3067\u3059\u3002\u305d\u306e\u7d50\u679c\u3001\u5148\u9032\u534a\u5c0e\u4f53\u3078\u306e\u9700\u8981\u306e\u6025\u5897\u306f\u3001\u88fd\u9020\u696d\u8005\u304c\u6280\u8853\u4e3b\u5c0e\u578b\u5e02\u5834\u3067\u7af6\u4e89\u529b\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u9ad8\u5ea6\u306a\u30c4\u30fc\u30eb\u306b\u6295\u8cc7\u3059\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u3092\u5927\u5e45\u306b\u4fc3\u9032\u3059\u308b\u3068\u4e88\u60f3\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>### 3. \u5e02\u5834\u6291\u5236\u8981\u56e0<\/p>\n<p>ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u3092\u6291\u5236\u3059\u308b\u4e3b\u8981\u306a\u8981\u56e0\u306e\u4e00\u3064\u306f\u3001\u305d\u306e\u9ad8\u984d\u306a\u521d\u671f\u6295\u8cc7\u3068\u7d99\u7d9a\u7684\u306a\u904b\u7528\u30b3\u30b9\u30c8\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<p>#### 3.1 \u9ad8\u984d\u306a\u521d\u671f\u6295\u8cc7\u3068\u904b\u7528\u30b3\u30b9\u30c8<\/p>\n<p>ALD\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306f\u3001\u539f\u5b50\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7cbe\u5ea6\u3067\u8584\u819c\u3092\u6210\u819c\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u9ad8\u5ea6\u306a\u6280\u8853\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3059\u308b\u8907\u96d1\u306a\u88c5\u7f6e\u3067\u3059\u3002\u3053\u306e\u8907\u96d1\u3055\u306f\u3001ALD\u88c5\u7f6e\u306e\u8cfc\u5165\u3068\u8a2d\u7f6e\u306b\u9ad8\u984d\u306a\u521d\u671f\u8cbb\u7528\u3092\u4f34\u3044\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u904b\u7528\u8cbb\u7528\u306b\u306f\u3001\u5c02\u9580\u7684\u306a\u30e1\u30f3\u30c6\u30ca\u30f3\u30b9\u3001\u30ad\u30e3\u30ea\u30d6\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3001\u304a\u3088\u3073\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u64cd\u4f5c\u3068\u7ba1\u7406\u306e\u305f\u3081\u306e\u719f\u7df4\u3057\u305f\u4eba\u54e1\u306e\u5fc5\u8981\u6027\u304c\u542b\u307e\u308c\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>\u4e2d\u5c0f\u4f01\u696d\u3084\u30b9\u30bf\u30fc\u30c8\u30a2\u30c3\u30d7\u4f01\u696d\u306b\u3068\u3063\u3066\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u9ad8\u30b3\u30b9\u30c8\u306f\u5927\u304d\u306a\u969c\u58c1\u3068\u306a\u308a\u3001ALD\u6280\u8853\u306e\u5c0e\u5165\u3092\u5236\u9650\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u4e88\u7b97\u306e\u5236\u7d04\u304c\u5927\u304d\u306a\u8003\u616e\u4e8b\u9805\u3068\u306a\u308b\u30b3\u30b9\u30c8\u306b\u654f\u611f\u306a\u5206\u91ce\u3067\u306f\u3001\u3053\u306e\u8ca1\u653f\u7684\u8ca0\u62c5\u306f\u7279\u306b\u9855\u8457\u3067\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u7d99\u7d9a\u7684\u306a\u30a2\u30c3\u30d7\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u5fc5\u8981\u6027\u3084\u3001\u30e1\u30f3\u30c6\u30ca\u30f3\u30b9\u306b\u3088\u308b\u30c0\u30a6\u30f3\u30bf\u30a4\u30e0\u306e\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u9ad8\u3044\u3053\u3068\u3082\u3001\u8ca1\u653f\u8cc7\u6e90\u3092\u3055\u3089\u306b\u5727\u8feb\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u6295\u8cc7\u306b\u306f\u3001\u88c5\u7f6e\u81ea\u4f53\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u30af\u30ea\u30fc\u30f3\u30eb\u30fc\u30e0\u8a2d\u5099\u3084\u9ad8\u5ea6\u306a\u5236\u5fa1\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306a\u3069\u3001\u305d\u306e\u904b\u7528\u3092\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u5fc5\u8981\u306a\u30a4\u30f3\u30d5\u30e9\u3082\u542b\u307e\u308c\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u8981\u56e0\u304cALD\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u5168\u4f53\u7684\u306a\u30b3\u30b9\u30c8\u306b\u8ca2\u732e\u3057\u3001\u4f01\u696d\u304c\u6280\u8853\u30aa\u30d7\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u8a55\u4fa1\u3059\u308b\u4e0a\u3067\u91cd\u8981\u306a\u8003\u616e\u4e8b\u9805\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u305d\u306e\u7d50\u679c\u3001ALD\u6280\u8853\u306f\u9ad8\u5ea6\u306a\u6210\u819c\u80fd\u529b\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u4e00\u65b9\u3067\u3001\u305d\u306e\u5c0e\u5165\u306b\u95a2\u9023\u3059\u308b\u9ad8\u30b3\u30b9\u30c8\u306f\u3001\u7279\u306b\u5e02\u5834\u306e\u5c0f\u898f\u6a21\u30d7\u30ec\u30fc\u30e4\u30fc\u306b\u3068\u3063\u3066\u3001\u305d\u306e\u30a2\u30af\u30bb\u30b7\u30d3\u30ea\u30c6\u30a3\u3092\u5236\u9650\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>### 4. \u5e02\u5834\u6a5f\u4f1a<\/p>\n<p>ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306f\u3001\u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d\uff08ALD\uff09\u6280\u8853\u5206\u91ce\u306b\u304a\u3051\u308b\u7814\u7a76\u958b\u767a\uff08R&#038;D\uff09\u3078\u306e\u6295\u8cc7\u306e\u5897\u52a0\u306b\u3088\u308a\u3001\u6210\u9577\u306e\u6a5f\u4f1a\u306b\u6075\u307e\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>#### 4.1 ALD\u6280\u8853\u306e\u7814\u7a76\u958b\u767a\u3078\u306e\u6295\u8cc7\u62e1\u5927<\/p>\n<p>\u3053\u308c\u3089\u306e\u6295\u8cc7\u306f\u3001ALD\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u80fd\u529b\u3068\u5fdc\u7528\u7bc4\u56f2\u3092\u5927\u5e45\u306b\u5f37\u5316\u3057\u3001\u69d8\u3005\u306a\u5206\u91ce\u3067\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u63a8\u9032\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5b66\u8853\u6a5f\u95a2\u3001\u7814\u7a76\u6a5f\u95a2\u3001\u696d\u754c\u30ea\u30fc\u30c0\u30fc\u9593\u306e\u8cc7\u91d1\u5897\u52a0\u3068\u5354\u529b\u7684\u306a\u53d6\u308a\u7d44\u307f\u306f\u3001ALD\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3068\u6750\u6599\u306e\u9032\u6b69\u306b\u304a\u3044\u3066\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<p>\u3055\u3089\u306b\u3001\u591a\u984d\u306eR&#038;D\u6295\u8cc7\u306f\u3001ALD\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u52b9\u7387\u3068\u30b9\u30b1\u30fc\u30e9\u30d3\u30ea\u30c6\u30a3\u306e\u5411\u4e0a\u306b\u7126\u70b9\u3092\u5f53\u3066\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u306f\u3001\u51e6\u7406\u6642\u9593\u3092\u77ed\u7e2e\u3057\u3001\u30b3\u30b9\u30c8\u3092\u524a\u6e1b\u3059\u308b\u65b0\u3057\u3044\u6210\u819c\u6280\u8853\u306e\u958b\u767a\u304c\u542b\u307e\u308c\u3001ALD\u6280\u8853\u3092\u3088\u308a\u5e83\u7bc4\u306a\u7523\u696d\u306b\u30a2\u30af\u30bb\u30b9\u3057\u3084\u3059\u304f\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002ASM International\u3084Applied Materials\u306a\u3069\u306e\u4f01\u696d\u306f\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u9032\u6b69\u306e\u6700\u524d\u7dda\u306b\u7acb\u3061\u3001\u5e02\u5834\u306b\u5927\u304d\u306a\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u306e\u3042\u308b\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u53d6\u308a\u7d44\u3093\u3067\u3044\u307e\u3059\u3002R&#038;D\u8cc7\u91d1\u306e\u6d41\u5165\u306f\u3001\u6280\u8853\u7684\u9032\u6b69\u3092\u52a0\u901f\u3055\u305b\u308b\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u65b0\u3057\u3044\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u51fa\u73fe\u3092\u4fc3\u9032\u3057\u3001ALD\u88c5\u7f6e\u306e\u5168\u4f53\u7684\u306a\u6027\u80fd\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u9032\u6b69\u304c\u7d9a\u304f\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001\u5e02\u5834\u62e1\u5927\u306e\u305f\u3081\u306e\u65b0\u305f\u306a\u6a5f\u4f1a\u304c\u5275\u51fa\u3055\u308c\u3001\u5148\u9032\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3001\u30d0\u30a4\u30aa\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u3001\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306a\u3069\u306e\u591a\u69d8\u306a\u5206\u91ce\u3067\u306eALD\u6280\u8853\u306e\u63a1\u7528\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>### 5. \u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u5206\u6790<\/p>\n<p>#### 5.1 \u6280\u8853\u5225\u5206\u6790<\/p>\n<p>##### 5.1.1 \u30d0\u30c3\u30c1\u5f0fALD (Batch ALD)<\/p>\n<p>\u30d0\u30c3\u30c1\u5f0fALD\u306f\u3001\u8907\u6570\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u540c\u6642\u306b\u51e6\u7406\u3059\u308b\u52b9\u7387\u6027\u304b\u3089\u3001\u30b0\u30ed\u30fc\u30d0\u30eb\u5e02\u5834\u3067\u652f\u914d\u7684\u306a\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u80fd\u529b\u306f\u3001\u4e00\u8cab\u6027\u3068\u30b9\u30b1\u30fc\u30e9\u30d6\u30eb\u306a\u751f\u7523\u304c\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u5927\u91cf\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306b\u30d0\u30c3\u30c1\u5f0fALD\u3092\u975e\u5e38\u306b\u9069\u3057\u305f\u3082\u306e\u306b\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5358\u4e00\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u3067\u8907\u6570\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u51e6\u7406\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u30d0\u30c3\u30c1\u5f0fALD\u306f\u30b9\u30eb\u30fc\u30d7\u30c3\u30c8\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u3059\u3079\u3066\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306b\u308f\u305f\u3063\u3066\u5747\u4e00\u306a\u819c\u6210\u819c\u3092\u4fdd\u8a3c\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u9ad8\u3044\u54c1\u8cea\u57fa\u6e96\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002\u65e2\u5b58\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u30e9\u30a4\u30f3\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u78ba\u7acb\u3055\u308c\u305f\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3068\u9ad8\u3044\u4fe1\u983c\u6027\u3092\u6301\u3064\u30d0\u30c3\u30c1\u5f0fALD\u306f\u3001\u4f9d\u7136\u3068\u3057\u3066\u4e3b\u8981\u306a\u9078\u629e\u80a2\u3067\u3042\u308a\u7d9a\u3051\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>##### 5.1.2 \u7a7a\u9593\u5206\u96e2ALD (Spatial ALD)<\/p>\n<p>\u4e00\u65b9\u3001\u7a7a\u9593\u5206\u96e2ALD\u306f\u3001\u7279\u306b\u5927\u898f\u6a21\u751f\u7523\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u91cd\u8981\u306a\u7af6\u5408\u6280\u8853\u3068\u3057\u3066\u53f0\u982d\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u305d\u306e\u9023\u7d9a\u51e6\u7406\u80fd\u529b\u306f\u3001\u3088\u308a\u901f\u3044\u6210\u819c\u901f\u5ea6\u3068\u4f4e\u3044\u904b\u7528\u30b3\u30b9\u30c8\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u3001\u30b3\u30b9\u30c8\u306b\u654f\u611f\u306a\u7523\u696d\u306b\u3068\u3063\u3066\u9b45\u529b\u7684\u306a\u9078\u629e\u80a2\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u307e\u3059\u3002\u7a7a\u9593\u5206\u96e2ALD\u306f\u3001\u5927\u6c17\u5727\u4e0b\u3067\u306e\u64cd\u4f5c\u3084\u3001\u30d5\u30ec\u30ad\u30b7\u30d6\u30eb\u57fa\u677f\u5411\u3051\u306e\u30ed\u30fc\u30eb\u30fb\u30c4\u30fc\u30fb\u30ed\u30fc\u30eb\u51e6\u7406\u306a\u3069\u3001\u30d0\u30c3\u30c1\u5f0f\u3067\u306f\u56f0\u96e3\u306a\u7279\u5b9a\u306e\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u304a\u3044\u3066\u512a\u4f4d\u6027\u3092\u793a\u3057\u307e\u3059\u3002\u88fd\u9020\u696d\u8005\u304c\u3088\u308a\u52b9\u7387\u7684\u3067\u7d4c\u6e08\u7684\u306a\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u6c42\u3081\u308b\u4e2d\u3001\u7a7a\u9593\u5206\u96e2ALD\u306e\u30b3\u30b9\u30c8\u524a\u6e1b\u3068\u751f\u7523\u52b9\u7387\u5411\u4e0a\u306e\u53ef\u80fd\u6027\u306f\u3001\u5e02\u5834\u3067\u306e\u63a1\u7528\u3092\u4fc3\u9032\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>#### 5.2 \u7528\u9014\u5225\u5206\u6790<\/p>\n<p>##### 5.2.1 \u534a\u5c0e\u4f53<\/p>\n<p>\u534a\u5c0e\u4f53\u5206\u91ce\u306f\u3001\u5148\u9032\u7684\u306a\u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3068\u96c6\u7a4d\u56de\u8def\u3078\u306e\u9700\u8981\u306e\u6025\u5897\u306b\u727d\u5f15\u3055\u308c\u3001\u5e02\u5834\u3092\u652f\u914d\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u6280\u8853\u304c\u9032\u5316\u3059\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001\u96fb\u5b50\u90e8\u54c1\u306f\u3088\u308a\u9ad8\u3044\u7cbe\u5ea6\u3068\u5c0f\u578b\u5316\u3092\u8981\u6c42\u3057\u3001\u539f\u5b50\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7cbe\u5ea6\u3067\u6975\u8584\u819c\u3092\u6210\u819c\u3067\u304d\u308bALD\u88c5\u7f6e\u3078\u306e\u30cb\u30fc\u30ba\u304c\u9ad8\u307e\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u7cbe\u5ea6\u306f\u3001\u30b9\u30de\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30f3\u3001\u30bf\u30d6\u30ec\u30c3\u30c8\u3001\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u6700\u5148\u7aef\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u9ad8\u6027\u80fd\u534a\u5c0e\u4f53\u3092\u88fd\u9020\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u306e\u8907\u96d1\u3055\u304c\u5897\u3059\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001ALD\u306f\u73fe\u4ee3\u306e\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u6027\u80fd\u3068\u4fe1\u983c\u6027\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u3082\u306e\u3068\u3057\u3066\u4f4d\u7f6e\u3065\u3051\u3089\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5177\u4f53\u7684\u306b\u306f\u3001\u9ad8\u8a98\u96fb\u7387\uff08High-k\uff09\u30b2\u30fc\u30c8\u7d76\u7e01\u819c\u3001\u914d\u7dda\u9593\u306e\u30b3\u30f3\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30eb\u30e9\u30a4\u30ca\u30fc\u3001\u62e1\u6563\u30d0\u30ea\u30a2\u5c64\u3001\u30d1\u30c3\u30b7\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5c64\u3001\u81ea\u5df1\u6574\u5408\u578b\u591a\u91cd\u30d1\u30bf\u30fc\u30cb\u30f3\u30b0\u306a\u3069\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306e\u69d8\u3005\u306a\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3044\u3066ALD\u304c\u6d3b\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002ALD\u306f\u3001\u30ea\u30fc\u30af\u96fb\u6d41\u306e\u4f4e\u6e1b\u3001\u96fb\u529b\u6d88\u8cbb\u306e\u6291\u5236\u3001\u304a\u3088\u3073\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u5b89\u5b9a\u6027\u5411\u4e0a\u306b\u8ca2\u732e\u3057\u3001FinFET\u3084GAAFET\u306a\u3069\u306e\u6b21\u4e16\u4ee3\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u69cb\u9020\u3092\u5b9f\u73fe\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u9375\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>##### 5.2.2 \u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535<\/p>\n<p>\u534a\u5c0e\u4f53\u306b\u52a0\u3048\u3066\u3001\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u3082\u8457\u3057\u3044\u6210\u9577\u3092\u7d4c\u9a13\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30d0\u30c3\u30c6\u30ea\u30fc\u3084\u30b9\u30fc\u30d1\u30fc\u30ad\u30e3\u30d1\u30b7\u30bf\u306e\u6027\u80fd\u5411\u4e0a\u3068\u5bff\u547d\u5ef6\u9577\u3078\u306e\u8981\u6c42\u304c\u3001ALD\u6280\u8853\u306e\u63a1\u7528\u3092\u4fc3\u9032\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002ALD\u306b\u3088\u308b\u6210\u819c\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306f\u3001\u96fb\u6975\u6750\u6599\u306e\u8868\u9762\u3092\u539f\u5b50\u30ec\u30d9\u30eb\u3067\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u5b89\u5b9a\u6027\u306e\u5411\u4e0a\u3001\u52a3\u5316\u306e\u6291\u5236\u3001\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u5bff\u547d\u306e\u5ef6\u9577\u3001\u304a\u3088\u3073\u5185\u90e8\u62b5\u6297\u306e\u4f4e\u6e1b\u306b\u8ca2\u732e\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u9ad8\u5bb9\u91cf\u306e\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u958b\u767a\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u6539\u5584\u304c\u3082\u305f\u3089\u3055\u308c\u3001ALD\u88c5\u7f6e\u306f\u3053\u306e\u5206\u91ce\u306e\u9032\u6b69\u306b\u3068\u3063\u3066\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002\u7279\u306b\u3001\u6b21\u4e16\u4ee3\u306e\u56fa\u4f53\u96fb\u6c60\u3084\u8584\u819c\u96fb\u6c60\u3001\u71c3\u6599\u96fb\u6c60\u306e\u89e6\u5a92\u5c64\u306a\u3069\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001ALD\u306e\u7cbe\u5bc6\u306a\u5236\u5fa1\u80fd\u529b\u304c\u6d3b\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>#### 5.3 \u30a8\u30f3\u30c9\u30e6\u30fc\u30b6\u30fc\u5225\u5206\u6790<\/p>\n<p>##### 5.3.1 \u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n<p>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u5206\u91ce\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306b\u304a\u3051\u308bALD\u306e\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u306b\u727d\u5f15\u3055\u308c\u3001\u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d\uff08ALD\uff09\u6280\u8853\u306e\u6700\u5927\u306e\u6700\u7d42\u6d88\u8cbb\u8005\u3067\u3059\u3002ALD\u304c\u539f\u5b50\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7cbe\u5ea6\u3067\u6975\u8584\u819c\u3092\u6210\u819c\u3059\u308b\u80fd\u529b\u306f\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u3084\u30e1\u30e2\u30ea\u30c1\u30c3\u30d7\u306a\u3069\u306e\u9ad8\u6027\u80fd\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3092\u88fd\u9020\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002\u3053\u306e\u7cbe\u5ea6\u306f\u3001\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u304c\u307e\u3059\u307e\u3059\u5c0f\u578b\u5316\u3001\u9ad8\u901f\u5316\u3001\u9ad8\u52b9\u7387\u5316\u3055\u308c\u305f\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3092\u8981\u6c42\u3059\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001\u91cd\u8981\u6027\u3092\u5897\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001MEMS\uff08\u5fae\u5c0f\u96fb\u6c17\u6a5f\u68b0\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\uff09\u3001\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4\u3001\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\u3068\u3044\u3063\u305f\u5e45\u5e83\u3044\u96fb\u5b50\u90e8\u54c1\u306e\u88fd\u9020\u306b\u304a\u3044\u3066\u3082\u3001ALD\u306f\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u62c5\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>##### 5.3.2 \u81ea\u52d5\u8eca<\/p>\n<p>\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306b\u52a0\u3048\u3001\u81ea\u52d5\u8eca\u5206\u91ce\u3067\u3082ALD\u6280\u8853\u306e\u63a1\u7528\u304c\u62e1\u5927\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u81ea\u52d5\u8eca\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u3001\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u5f37\u5316\u3084\u5148\u9032\u7684\u306a\u4fdd\u8b77\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306e\u958b\u767a\u306bALD\u3092\u6d3b\u7528\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u8eca\u4e21\u90e8\u54c1\u306e\u8010\u4e45\u6027\u3068\u52b9\u7387\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u3001\u3088\u308a\u512a\u308c\u305f\u6027\u80fd\u3068\u9577\u5bff\u547d\u306b\u8ca2\u732e\u3057\u307e\u3059\u3002\u4f8b\u3048\u3070\u3001\u96fb\u6c17\u81ea\u52d5\u8eca\uff08EV\uff09\u7528\u30d0\u30c3\u30c6\u30ea\u30fc\u306e\u96fb\u6975\u3084\u30bb\u30d1\u30ec\u30fc\u30bf\u306e\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306b\u3088\u308a\u3001\u5b89\u5168\u6027\u3068\u6027\u80fd\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u305f\u308a\u3001\u30a8\u30f3\u30b8\u30f3\u90e8\u54c1\u3084\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\u3001\u30d1\u30ef\u30fc\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306b\u8010\u8150\u98df\u6027\u3084\u8010\u6469\u8017\u6027\u306e\u3042\u308b\u4fdd\u8b77\u819c\u3092\u5f62\u6210\u3057\u305f\u308a\u3059\u308b\u7528\u9014\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u81ea\u52d5\u8eca\u90e8\u54c1\u304c\u76f4\u9762\u3059\u308b\u53b3\u3057\u3044\u52d5\u4f5c\u74b0\u5883\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001ALD\u306b\u3088\u308b\u7cbe\u5bc6\u306a\u4fdd\u8b77\u819c\u306f\u3001\u4fe1\u983c\u6027\u3068\u5bff\u547d\u3092\u5927\u5e45\u306b\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u3092\u79d8\u3081\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>#### 5.4 \u5730\u57df\u5225\u5206\u6790<\/p>\n<p>##### 5.4.1 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df<\/p>\n<p>\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306f\u3001ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3044\u306645%\u3068\u3044\u3046\u5727\u5012\u7684\u306a\u5e02\u5834\u30b7\u30a7\u30a2\u3092\u5360\u3081\u3066\u304a\u308a\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u3068\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u751f\u7523\u306b\u304a\u3051\u308b\u512a\u4f4d\u6027\u306b\u3088\u308a\u3001\u4eca\u5f8c\u3082\u6700\u5927\u306e\u30b7\u30a7\u30a2\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u3068\u4e88\u60f3\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u5730\u57df\u306e\u30ea\u30fc\u30c0\u30fc\u30b7\u30c3\u30d7\u306f\u3001\u6025\u901f\u306a\u5de5\u696d\u5316\u3001\u6280\u8853\u30a4\u30f3\u30d5\u30e9\u3078\u306e\u591a\u984d\u306e\u6295\u8cc7\u3001\u6d88\u8cbb\u8005\u5411\u3051\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u3084\u5148\u9032\u6750\u6599\u3078\u306e\u9700\u8981\u306e\u6025\u5897\u306a\u3069\u3001\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u91cd\u8981\u306a\u8981\u56e0\u306b\u3088\u3063\u3066\u652f\u3048\u3089\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>\u4e2d\u56fd\u3001\u97d3\u56fd\u3001\u53f0\u6e7e\u3068\u3044\u3063\u305f\u56fd\u3005\u304c\u3053\u306e\u30c8\u30ec\u30f3\u30c9\u306e\u6700\u524d\u7dda\u306b\u7acb\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u4e2d\u56fd\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306f\u3001\u653f\u5e9c\u4e3b\u5c0e\u306e\u30a4\u30cb\u30b7\u30a2\u30c1\u30d6\u3068\u591a\u984d\u306e\u6295\u8cc7\u306b\u727d\u5f15\u3055\u308c\u3001\u3053\u306e\u5730\u57df\u306eALD\u5e02\u5834\u6210\u9577\u306b\u5927\u304d\u304f\u8ca2\u732e\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u97d3\u56fd\u306f\u30e1\u30e2\u30ea\u30c1\u30c3\u30d7\u3068\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4\u6280\u8853\u3067\u4e16\u754c\u3092\u30ea\u30fc\u30c9\u3057\u3001\u53f0\u6e7e\u306fTSMC\u306e\u3088\u3046\u306a\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u3092\u901a\u3058\u3066\u6700\u5148\u7aef\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u3092\u727d\u5f15\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306e\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u88fd\u9020\u306e\u6025\u901f\u306a\u62e1\u5927\u306f\u3001\u7814\u7a76\u958b\u767a\u3078\u306e\u6295\u8cc7\u306e\u5897\u52a0\u306b\u3088\u3063\u3066\u88dc\u5b8c\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u6295\u8cc7\u306f\u3001\u30d5\u30ec\u30ad\u30b7\u30d6\u30eb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3001\u9ad8\u52b9\u7387\u592a\u967d\u96fb\u6c60\u3001\u5148\u9032\u6750\u6599\u3078\u306e\u5fdc\u7528\u3092\u76ee\u7684\u3068\u3057\u305fALD\u6280\u8853\u306e\u9032\u6b69\u306b\u7126\u70b9\u3092\u5f53\u3066\u3066\u304a\u308a\u3001\u30b0\u30ed\u30fc\u30d0\u30ebALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3051\u308b\u3053\u306e\u5730\u57df\u306e\u652f\u914d\u7684\u306a\u5730\u4f4d\u3092\u3055\u3089\u306b\u5f37\u56fa\u306a\u3082\u306e\u306b\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>##### 5.4.2 \u5317\u7c73<\/p>\n<p>\u5317\u7c73\u306f\u3001\u4e16\u754c\u306eALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e27%\u306e\u30b7\u30a7\u30a2\u3092\u5360\u3081\u3066\u304a\u308a\u3001\u3053\u306e\u7523\u696d\u306b\u304a\u3051\u308b\u305d\u306e\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u5f37\u8abf\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u512a\u4f4d\u6027\u306f\u3001\u4e3b\u306b\u3053\u306e\u5730\u57df\u306e\u9ad8\u5ea6\u306a\u6280\u8853\u30a4\u30f3\u30d5\u30e9\u3068\u3001Applied Materials\u3084Lam Research\u306a\u3069\u306e\u4e3b\u8981\u306a\u534a\u5c0e\u4f53\u4f01\u696d\u306e\u5f37\u529b\u306a\u5b58\u5728\u611f\u306b\u8d77\u56e0\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u4f01\u696d\u306f\u5317\u7c73\u306b\u672c\u793e\u3092\u7f6e\u304d\u3001ALD\u6280\u8853\u306e\u9769\u65b0\u3068\u9032\u6b69\u3092\u63a8\u9032\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>\u3053\u306e\u5730\u57df\u306e\u7814\u7a76\u958b\u767a\uff08R&#038;D\uff09\u3078\u306e\u91cd\u70b9\u306f\u3001\u5e02\u5834\u6210\u9577\u3092\u3055\u3089\u306b\u4fc3\u9032\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5317\u7c73\u306e\u6a5f\u95a2\u3084\u4f01\u696d\u306fR&#038;D\u306b\u591a\u984d\u306e\u6295\u8cc7\u3092\u884c\u3044\u3001ALD\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3068\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u304a\u3051\u308b\u30d6\u30ec\u30fc\u30af\u30b9\u30eb\u30fc\u3092\u4fc3\u9032\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u6d88\u8cbb\u8005\u5411\u3051\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3001\u81ea\u52d5\u8eca\u6280\u8853\u3001\u5148\u9032\u88fd\u9020\u696d\u306b\u308f\u305f\u308b\u9ad8\u6027\u80fd\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u5317\u7c73\u306e\u5f37\u3044\u9700\u8981\u304c\u3001ALD\u88c5\u7f6e\u306e\u4f7f\u7528\u62e1\u5927\u3092\u652f\u3048\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u5206\u91ce\u306b\u304a\u3051\u308b\u6280\u8853\u7684\u30ea\u30fc\u30c0\u30fc\u30b7\u30c3\u30d7\u3068\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u3068\u3044\u3046\u5730\u57df\u306e\u7126\u70b9\u304c\u3001ALD\u6280\u8853\u306e\u63a1\u7528\u3092\u5f15\u304d\u7d9a\u304d\u63a8\u9032\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u7279\u306b\u3001\u91cf\u5b50\u30b3\u30f3\u30d4\u30e5\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u3084\u9ad8\u5ea6\u306aAI\u30c1\u30c3\u30d7\u306a\u3069\u306e\u6700\u5148\u7aef\u6280\u8853\u306b\u95a2\u3059\u308b\u7814\u7a76\u958b\u767a\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u5317\u7c73\u306f\u4e16\u754c\u306e\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b\u5f79\u5272\u3092\u62c5\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>### 6. \u7d50\u8ad6\u3068\u4eca\u5f8c\u306e\u5c55\u671b<\/p>\n<p>ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306f\u3001\u5148\u9032\u6750\u6599\u3068\u9ad8\u6027\u80fd\u534a\u5c0e\u4f53\u3078\u306e\u9700\u8981\u306e\u5897\u52a0\u306b\u727d\u5f15\u3055\u308c\u3001\u5927\u5e45\u306a\u6210\u9577\u3092\u9042\u3052\u308b\u614b\u52e2\u304c\u6574\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002ALD\u6280\u8853\u304c\u8584\u819c\u6210\u819c\u306b\u304a\u3044\u3066\u539f\u5b50\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7cbe\u5ea6\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u80fd\u529b\u306f\u3001\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u304b\u3089\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u8caf\u8535\u306b\u81f3\u308b\u307e\u3067\u3001\u69d8\u3005\u306a\u7523\u696d\u306b\u304a\u3051\u308b\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u3068\u3063\u3066\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<p>\u6280\u8853\u7684\u9032\u6b69\u304c\u9032\u5316\u3057\u7d9a\u3051\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u7126\u70b9\u3092\u5f53\u3066\u3001ALD\u80fd\u529b\u3092\u62e1\u5927\u3059\u308b\u4f01\u696d\u306f\u3001\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3051\u308b\u65b0\u305f\u306a\u6a5f\u4f1a\u3092\u6349\u3048\u308b\u4e0a\u3067\u6709\u5229\u306a\u7acb\u5834\u306b\u7acb\u3064\u3067\u3057\u3087\u3046\u3002ALD\u306e\u65b0\u898f\u304a\u3088\u3073\u62e1\u5927\u3059\u308b\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3078\u306e\u7d71\u5408\u306f\u3001\u7814\u7a76\u958b\u767a\u3078\u306e\u7d99\u7d9a\u7684\u306a\u6295\u8cc7\u3068\u76f8\u307e\u3063\u3066\u3001ALD\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e\u5c06\u6765\u306e\u6210\u9577\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002ALD\u6280\u8853\u306f\u3001\u73fe\u4ee3\u793e\u4f1a\u304c\u6c42\u3081\u308b\u5c0f\u578b\u5316\u3001\u9ad8\u6027\u80fd\u5316\u3001\u9ad8\u52b9\u7387\u5316\u3001\u305d\u3057\u3066\u6301\u7d9a\u53ef\u80fd\u6027\u3068\u3044\u3063\u305f\u8981\u4ef6\u3092\u6e80\u305f\u3059\u4e0a\u3067\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u57fa\u76e4\u6280\u8853\u3068\u3057\u3066\u3001\u305d\u306e\u91cd\u8981\u6027\u3092\u3055\u3089\u306b\u9ad8\u3081\u3066\u3044\u304f\u3068\u4e88\u60f3\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"","ping_status":"","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[],"aioseo_notices":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/60816"}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=60816"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/60816\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=60816"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=60816"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.marketresearch.co.jp\/insights\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=60816"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}