1.\u5e8f\u6587<\/p>\n
1.1.\u5e02\u5834\u7d39\u4ecb<\/p>\n
1.2.\u5e02\u5834\u3068\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u306e\u5b9a\u7fa9<\/p>\n
1.3.\u5e02\u5834\u5206\u985e<\/p>\n
1.4.\u8abf\u67fb\u65b9\u6cd5<\/p>\n
1.5.\u524d\u63d0\u6761\u4ef6\u3068\u7565\u8a9e<\/p>\n
2.\u8981\u65e8<\/p>\n
2.1.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u6982\u8981<\/p>\n
2.2.\u5730\u57df\u6982\u8981<\/p>\n
2.3.\u696d\u754c\u6982\u8981<\/p>\n
2.4.\u5e02\u5834\u30c0\u30a4\u30ca\u30df\u30af\u30b9\u306e\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8<\/p>\n
2.5.\u30b3\u30f3\u30da\u30c6\u30a3\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u9752\u5199\u771f<\/p>\n
3.\u5e02\u5834\u30c0\u30a4\u30ca\u30df\u30af\u30b9<\/p>\n
3.1.\u30de\u30af\u30ed\u7d4c\u6e08\u8981\u56e0<\/p>\n
3.2.\u30c9\u30e9\u30a4\u30d0\u30fc<\/p>\n
3.3.\u5236\u7d04\u4e8b\u9805<\/p>\n
3.4.\u6a5f\u4f1a<\/p>\n
3.5.\u4e3b\u8981\u30c8\u30ec\u30f3\u30c9<\/p>\n
3.6.\u898f\u5236\u306e\u67a0\u7d44\u307f<\/p>\n
4.\u95a2\u9023\u7523\u696d\u3068\u4e3b\u8981\u6307\u6a19\u306e\u8a55\u4fa1<\/p>\n
4.1.\u89aa\u696d\u754c\u306e\u6982\u8981 – \u4e16\u754c\u306e\u84b8\u7740\u6280\u8853\u696d\u754c\u306e\u6982\u8981<\/p>\n
4.2.\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30c1\u30a7\u30fc\u30f3\u5206\u6790<\/p>\n
4.3.\u4fa1\u683c\u5206\u6790<\/p>\n
4.4.\u6280\u8853\u30ed\u30fc\u30c9\u30de\u30c3\u30d7<\/p>\n
4.5.\u696d\u754cSWOT\u5206\u6790<\/p>\n
4.6.\u30dd\u30fc\u30bf\u30fc\u306e\u30d5\u30a1\u30a4\u30d6\u30d5\u30a9\u30fc\u30b9\u5206\u6790<\/p>\n
4.7.COVID-19 \u5f71\u97ff\u3068\u56de\u5fa9\u306e\u5206\u6790<\/p>\n
5.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u5206\u6790\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225<\/p>\n
5.1.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
5.1.1.\u7269\u7406\u7684\u6c17\u76f8\u6210\u9577(PVD)<\/p>\n
5.1.2.\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\u6cd5(CVD)<\/p>\n
5.1.3.\u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d\u6cd5(ALD)<\/p>\n
5.2.\u5e02\u5834\u9b45\u529b\u5ea6\u5206\u6790\uff08\u30bf\u30a4\u30d7\u5225<\/p>\n
6.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u5206\u6790\u3001\u7528\u9014\u5225<\/p>\n
6.1.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
6.1.1.\u592a\u967d\u96fb\u6c60<\/p>\n
6.1.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc<\/p>\n
6.1.3.\u30cf\u30fc\u30c9\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6<\/p>\n
6.1.4.\u7cbe\u5bc6\u5149\u5b66<\/p>\n
6.1.5.LED\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4<\/p>\n
6.1.6.\u30e1\u30e2\u30ea\u30fc<\/p>\n
6.1.7.\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30ea\u30fc\u30c8\uff06\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9<\/p>\n
6.1.8.\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\uff06\u30c8\u30e9\u30f3\u30b9\u30c7\u30e5\u30fc\u30b5\u30fc<\/p>\n
6.1.9.\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf<\/p>\n
6.1.10.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
6.2.\u5e02\u5834\u9b45\u529b\u5ea6\u5206\u6790\uff08\u7528\u9014\u5225<\/p>\n
7.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u5206\u6790 \u3001\u7523\u696d\u5206\u91ce\u5225<\/p>\n
7.1.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7523\u696d\u5206\u91ce\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
7.1.1.IT\u30fb\u901a\u4fe1<\/p>\n
7.1.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
7.1.3.\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\uff06\u30e6\u30fc\u30c6\u30a3\u30ea\u30c6\u30a3<\/p>\n
7.1.4.\u5bb6\u96fb\u88fd\u54c1<\/p>\n
7.1.5.\u81ea\u52d5\u8eca<\/p>\n
7.1.6.\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2<\/p>\n
7.1.7.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
7.2.\u7523\u696d\u5225\u5e02\u5834\u9b45\u529b\u5ea6\u5206\u6790<\/p>\n
8.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u5206\u6790 \u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225<\/p>\n
8.1.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
8.1.1.IDM<\/p>\n
8.1.2.\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30fc<\/p>\n
8.2.\u5e02\u5834\u306e\u9b45\u529b\u5ea6\u5206\u6790\uff08\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225<\/p>\n
9.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u5730\u57df\u5225<\/p>\n
9.1.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u5730\u57df\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
9.1.1.\u5317\u7c73<\/p>\n
9.1.2.\u30e8\u30fc\u30ed\u30c3\u30d1<\/p>\n
9.1.3.\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b<\/p>\n
9.1.4.\u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab<\/p>\n
9.1.5.\u5357\u7c73<\/p>\n
9.2.\u5e02\u5834\u9b45\u529b\u5ea6\u5206\u6790\u3001\u5730\u57df\u5225<\/p>\n
10.\u5317\u7c73\u306e\u8584\u819c\u84b8\u7740\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c<\/p>\n
10.1.\u5e02\u5834\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8<\/p>\n
10.2.\u63a8\u9032\u8981\u56e0\u3068\u6291\u5236\u8981\u56e0\uff1a\u5f71\u97ff\u5206\u6790<\/p>\n
10.3.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
10.3.1.\u7269\u7406\u7684\u6c17\u76f8\u6210\u9577(PVD)<\/p>\n
10.3.2.\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\u6cd5(CVD)<\/p>\n
10.3.3.\u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d(ALD)<\/p>\n
10.4.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
10.4.1.\u592a\u967d\u96fb\u6c60<\/p>\n
10.4.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc<\/p>\n
10.4.3.\u30cf\u30fc\u30c9\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6<\/p>\n
10.4.4.\u7cbe\u5bc6\u5149\u5b66<\/p>\n
10.4.5.LED\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4<\/p>\n
10.4.6.\u30e1\u30e2\u30ea\u30fc<\/p>\n
10.4.7.\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30ea\u30fc\u30c8\uff06\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9<\/p>\n
10.4.8.\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\u3068\u5909\u63db\u5668<\/p>\n
10.4.9.\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf<\/p>\n
10.4.10.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
10.5.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7523\u696d\u5206\u91ce\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
10.5.1.IT\u30fb\u901a\u4fe1<\/p>\n
10.5.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
10.5.3.\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\uff06\u30e6\u30fc\u30c6\u30a3\u30ea\u30c6\u30a3<\/p>\n
10.5.4.\u30b3\u30f3\u30b7\u30e5\u30fc\u30de\u30fc\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
10.5.5.\u81ea\u52d5\u8eca<\/p>\n
10.5.6.\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2<\/p>\n
10.5.7.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
10.6.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
10.6.1.IDM<\/p>\n
10.6.2.\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30fc<\/p>\n
10.7.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u56fd\u30fb\u5c0f\u5730\u57df\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
10.7.1.\u7c73\u56fd<\/p>\n
10.7.2.\u30ab\u30ca\u30c0<\/p>\n
10.7.3.\u5317\u7c73\u4ee5\u5916\u306e\u5730\u57df<\/p>\n
10.8.\u5e02\u5834\u9b45\u529b\u5ea6\u5206\u6790<\/p>\n
10.8.1.\u30bf\u30a4\u30d7\u5225<\/p>\n
10.8.2.\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225<\/p>\n
10.8.3.\u696d\u7a2e\u5225<\/p>\n
10.8.4.\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225<\/p>\n
10.8.5.\u56fd\u30fb\u5730\u57df\u5225<\/p>\n
11.\u6b27\u5dde\u306e\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c<\/p>\n
11.1.\u5e02\u5834\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8<\/p>\n
11.2.\u63a8\u9032\u8981\u56e0\u3068\u6291\u5236\u8981\u56e0\uff1a\u5f71\u97ff\u5206\u6790<\/p>\n
11.3.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
11.3.1.\u7269\u7406\u7684\u6c17\u76f8\u6210\u9577(PVD)<\/p>\n
11.3.2.\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\u6cd5\uff08CVD\uff09<\/p>\n
11.3.3.\u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d\u6cd5(ALD)<\/p>\n
11.4.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
11.4.1.\u592a\u967d\u96fb\u6c60<\/p>\n
11.4.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc<\/p>\n
11.4.3.\u30cf\u30fc\u30c9\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6<\/p>\n
11.4.4.\u7cbe\u5bc6\u5149\u5b66<\/p>\n
11.4.5.LED\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4<\/p>\n
11.4.6.\u30e1\u30e2\u30ea\u30fc<\/p>\n
11.4.7.\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30ea\u30fc\u30c8\uff06\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9<\/p>\n
11.4.8.\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\uff06\u30c8\u30e9\u30f3\u30b9\u30c7\u30e5\u30fc\u30b5\u30fc<\/p>\n
11.4.9.\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf<\/p>\n
11.4.10.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
11.5.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7523\u696d\u5206\u91ce\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
11.5.1.IT\u30fb\u901a\u4fe1<\/p>\n
11.5.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
11.5.3.\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\uff06\u30e6\u30fc\u30c6\u30a3\u30ea\u30c6\u30a3<\/p>\n
11.5.4.\u30b3\u30f3\u30b7\u30e5\u30fc\u30de\u30fc\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
11.5.5.\u81ea\u52d5\u8eca<\/p>\n
11.5.6.\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2<\/p>\n
11.5.7.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
11.6.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
11.6.1.IDM<\/p>\n
11.6.2.\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30fc<\/p>\n
11.7.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u56fd\u30fb\u5c0f\u5730\u57df\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
11.7.1.\u82f1\u56fd<\/p>\n
11.7.2.\u30c9\u30a4\u30c4<\/p>\n
11.7.3.\u30d5\u30e9\u30f3\u30b9<\/p>\n
11.7.4.\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30e8\u30fc\u30ed\u30c3\u30d1<\/p>\n
11.8.\u5e02\u5834\u9b45\u529b\u5ea6\u5206\u6790<\/p>\n
11.8.1.\u30bf\u30a4\u30d7\u5225<\/p>\n
11.8.2.\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5225<\/p>\n
11.8.3.\u696d\u7a2e\u5225<\/p>\n
11.8.4.\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225<\/p>\n
11.8.5.\u56fd\u30fb\u5730\u57df\u5225<\/p>\n
12.\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306e\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c<\/p>\n
12.1.\u5e02\u5834\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8<\/p>\n
12.2.\u63a8\u9032\u8981\u56e0\u3068\u6291\u5236\u8981\u56e0\uff1a\u5f71\u97ff\u5206\u6790<\/p>\n
12.3.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
12.3.1.\u7269\u7406\u7684\u6c17\u76f8\u6210\u9577(PVD)<\/p>\n
12.3.2.\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\u6cd5\uff08CVD\uff09<\/p>\n
12.3.3.\u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d\u6cd5(ALD)<\/p>\n
12.4.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
12.4.1.\u592a\u967d\u96fb\u6c60<\/p>\n
12.4.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc<\/p>\n
12.4.3.\u30cf\u30fc\u30c9\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6<\/p>\n
12.4.4.\u7cbe\u5bc6\u5149\u5b66<\/p>\n
12.4.5.LED\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4<\/p>\n
12.4.6.\u30e1\u30e2\u30ea\u30fc<\/p>\n
12.4.7.\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30ea\u30fc\u30c8\uff06\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9<\/p>\n
12.4.8.\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\uff06\u30c8\u30e9\u30f3\u30b9\u30c7\u30e5\u30fc\u30b5\u30fc<\/p>\n
12.4.9.\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf<\/p>\n
12.4.10.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
12.5.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7523\u696d\u5206\u91ce\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
12.5.1.IT\u30fb\u901a\u4fe1<\/p>\n
12.5.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
12.5.3.\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\uff06\u30e6\u30fc\u30c6\u30a3\u30ea\u30c6\u30a3<\/p>\n
12.5.4.\u30b3\u30f3\u30b7\u30e5\u30fc\u30de\u30fc\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
12.5.5.\u81ea\u52d5\u8eca<\/p>\n
12.5.6.\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2<\/p>\n
12.5.7.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
12.6.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
12.6.1.IDM<\/p>\n
12.6.2.\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30fc<\/p>\n
12.7.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u56fd\u30fb\u5c0f\u5730\u57df\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
12.7.1.\u4e2d\u56fd<\/p>\n
12.7.2.\u65e5\u672c<\/p>\n
12.7.3.\u30a4\u30f3\u30c9<\/p>\n
12.7.4.\u97d3\u56fd<\/p>\n
12.7.5.\u30a2\u30bb\u30a2\u30f3<\/p>\n
12.7.6.\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df<\/p>\n
12.8.\u5e02\u5834\u9b45\u529b\u5ea6\u5206\u6790<\/p>\n
12.8.1.\u30bf\u30a4\u30d7\u5225<\/p>\n
12.8.2.\u7533\u8acb\u65b9\u6cd5<\/p>\n
12.8.3.\u696d\u7a2e\u5225<\/p>\n
12.8.4.\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225<\/p>\n
12.8.5.\u56fd\u30fb\u5730\u57df\u5225<\/p>\n
13.\u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\u306e\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c<\/p>\n
13.1.\u5e02\u5834\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8<\/p>\n
13.2.\u63a8\u9032\u8981\u56e0\u3068\u6291\u5236\u8981\u56e0\uff1a\u5f71\u97ff\u5206\u6790<\/p>\n
13.3.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
13.3.1.\u7269\u7406\u7684\u6c17\u76f8\u6210\u9577(PVD)<\/p>\n
13.3.2.\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\u6cd5\uff08CVD\uff09<\/p>\n
13.3.3.\u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d(ALD)<\/p>\n
13.4.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
13.4.1.\u592a\u967d\u96fb\u6c60<\/p>\n
13.4.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc<\/p>\n
13.4.3.\u30cf\u30fc\u30c9\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6<\/p>\n
13.4.4.\u7cbe\u5bc6\u5149\u5b66<\/p>\n
13.4.5.LED\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4<\/p>\n
13.4.6.\u30e1\u30e2\u30ea\u30fc<\/p>\n
13.4.7.\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30ea\u30fc\u30c8\uff06\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9<\/p>\n
13.4.8.\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\uff06\u30c8\u30e9\u30f3\u30b9\u30c7\u30e5\u30fc\u30b5\u30fc<\/p>\n
13.4.9.\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf<\/p>\n
13.4.10.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
13.5.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7523\u696d\u5206\u91ce\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
13.5.1.IT\u30fb\u901a\u4fe1<\/p>\n
13.5.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
13.5.3.\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\uff06\u30e6\u30fc\u30c6\u30a3\u30ea\u30c6\u30a3<\/p>\n
13.5.4.\u30b3\u30f3\u30b7\u30e5\u30fc\u30de\u30fc\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
13.5.5.\u81ea\u52d5\u8eca<\/p>\n
13.5.6.\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2<\/p>\n
13.5.7.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
13.6.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
13.6.1.IDM<\/p>\n
13.6.2.\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30fc<\/p>\n
13.7.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u56fd\u30fb\u5c0f\u5730\u57df\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
13.7.1.GCC<\/p>\n
13.7.2.\u5357\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab<\/p>\n
13.7.3.\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab<\/p>\n
13.8.\u5e02\u5834\u9b45\u529b\u5ea6\u5206\u6790<\/p>\n
13.8.1.\u30bf\u30a4\u30d7\u5225<\/p>\n
13.8.2.\u7533\u8acb\u65b9\u6cd5<\/p>\n
13.8.3.\u696d\u7a2e\u5225<\/p>\n
13.8.4.\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225<\/p>\n
13.8.5.\u56fd\u30fb\u5730\u57df\u5225<\/p>\n
14.\u5357\u7c73\u306e\u8584\u819c\u84b8\u7740\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u306e\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c<\/p>\n
14.1.\u5e02\u5834\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8<\/p>\n
14.2.\u63a8\u9032\u8981\u56e0\u3068\u6291\u5236\u8981\u56e0\uff1a\u5f71\u97ff\u5206\u6790<\/p>\n
14.3.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
14.3.1.\u7269\u7406\u7684\u6c17\u76f8\u6210\u9577\uff08PVD\uff09<\/p>\n
14.3.2.\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\u6cd5\uff08CVD\uff09<\/p>\n
14.3.3.\u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d(ALD)<\/p>\n
14.4.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
14.4.1.\u592a\u967d\u96fb\u6c60<\/p>\n
14.4.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc<\/p>\n
14.4.3.\u30cf\u30fc\u30c9\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30fb\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6<\/p>\n
14.4.4.\u7cbe\u5bc6\u5149\u5b66<\/p>\n
14.4.5.LED\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4<\/p>\n
14.4.6.\u30e1\u30e2\u30ea\u30fc<\/p>\n
14.4.7.\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30ea\u30fc\u30c8\uff06\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9<\/p>\n
14.4.8.\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\uff06\u30c8\u30e9\u30f3\u30b9\u30c7\u30e5\u30fc\u30b5\u30fc<\/p>\n
14.4.9.\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf<\/p>\n
14.4.10.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
14.5.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u7523\u696d\u5206\u91ce\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
14.5.1.IT\u30fb\u901a\u4fe1<\/p>\n
14.5.2.\u534a\u5c0e\u4f53\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
14.5.3.\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\uff06\u30e6\u30fc\u30c6\u30a3\u30ea\u30c6\u30a3<\/p>\n
14.5.4.\u30b3\u30f3\u30b7\u30e5\u30fc\u30de\u30fc\u30fb\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/p>\n
14.5.5.\u81ea\u52d5\u8eca<\/p>\n
14.5.6.\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2<\/p>\n
14.5.7.\u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
14.6.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u5206\u6790\u3068\u4e88\u6e2c\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
14.6.1.IDM<\/p>\n
14.6.2.\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30fc<\/p>\n
14.7.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u304a\u3088\u3073\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u5206\u6790\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u56fd\u30fb\u5c0f\u5730\u57df\u5225\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
14.7.1.\u30d6\u30e9\u30b8\u30eb<\/p>\n
14.7.2.\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u5357\u7c73\u8af8\u56fd<\/p>\n
14.8.\u5e02\u5834\u9b45\u529b\u5ea6\u5206\u6790<\/p>\n
14.8.1.\u30bf\u30a4\u30d7\u5225<\/p>\n
14.8.2.\u7533\u8acb\u65b9\u6cd5<\/p>\n
14.8.3.\u696d\u7a2e\u5225<\/p>\n
14.8.4.\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225<\/p>\n
14.8.5.\u56fd\u30fb\u5730\u57df\u5225<\/p>\n
15.\u7af6\u6280\u8a55\u4fa1<\/p>\n
15.1.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u7af6\u4e89\u30de\u30c8\u30ea\u30c3\u30af\u30b9-\u30c0\u30c3\u30b7\u30e5\u30dc\u30fc\u30c9\u30d3\u30e5\u30fc<\/p>\n
15.1.1.\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u4f01\u696d\u30b7\u30a7\u30a2\u5206\u6790\uff08\u91d1\u984d\u5225\uff09\uff082022\u5e74<\/p>\n
15.1.2.\u6280\u8853\u7684\u5dee\u5225\u5316\u8981\u56e0<\/p>\n
16.\u4f01\u696d\u30d7\u30ed\u30d5\u30a3\u30fc\u30eb\uff08\u30b0\u30ed\u30fc\u30d0\u30eb\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\uff0f\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\uff09<\/p>\n
16.1.AJA\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30ca\u30b7\u30e7\u30ca\u30eb<\/p>\n
16.1.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.1.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.1.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.1.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u4ee3\u7406\u5e97<\/p>\n
16.1.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.1.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.2.\u30d6\u30eb\u30fc\u30a6\u30a7\u30fc\u30d6\u30fb\u30bb\u30df\u30b3\u30f3\u30c0\u30af\u30bf\u30fc\u30ba\u793e<\/p>\n
16.2.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.2.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.2.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.2.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u4ee3\u7406\u5e97<\/p>\n
16.2.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.2.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.3.\u30ad\u30e4\u30ce\u30f3\u30a2\u30cd\u30eb\u30d0\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e<\/p>\n
16.3.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.3.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.3.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.3.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u4ee3\u7406\u5e97<\/p>\n
16.3.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.3.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.4.CVD\u88c5\u7f6e\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e<\/p>\n
16.4.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.4.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.4.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.4.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u4ee3\u7406\u5e97<\/p>\n
16.4.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.4.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.5.\u30a4\u30f3\u30c6\u30d0\u30c3\u30af\u793e<\/p>\n
16.5.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.5.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.5.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.5.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u4ee3\u7406\u5e97<\/p>\n
16.5.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.5.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.6.\u30b1\u30ce\u30b7\u30b9\u30c6\u30c3\u30af\u30fb\u30b7\u30cb\u30a2<\/p>\n
16.6.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.6.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.6.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.6.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u4ee3\u7406\u5e97<\/p>\n
16.6.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.6.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.7.\u30e9\u30e0\u30ea\u30b5\u30fc\u30c1\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e<\/p>\n
16.7.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.7.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.7.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.7.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u4ee3\u7406\u5e97<\/p>\n
16.7.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.7.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.8.\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30b5\u30fc\u30e0LLC<\/p>\n
16.8.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.8.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.8.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.8.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u4ee3\u7406\u5e97<\/p>\n
16.8.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.8.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.9. \u30d7\u30e9\u30b7\u30b9\u30fb\u30d9\u30b9\u30c6\u30c3\u30af<\/p>\n
16.9.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.9.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.9.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.9.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u4ee3\u7406\u5e97<\/p>\n
16.9.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.9.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.10.PVD\u30d7\u30ed\u30c0\u30af\u30c4<\/p>\n
16.10.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.10.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.10.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.10.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u8ca9\u58f2\u4f1a\u793e<\/p>\n
16.10.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.10.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.11.\u30b5\u30e0\u30b3\u793e<\/p>\n
16.11.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.11.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.11.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.11.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u8ca9\u58f2\u4f1a\u793e<\/p>\n
16.11.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.11.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u30c7\u30fc\u30bf<\/p>\n
16.12. \u30b7\u30f3\u30b0\u30eb\u30b9\u30fb\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u30baAG<\/p>\n
16.12.1.\u6982\u8981<\/p>\n
16.12.2.\u88fd\u54c1\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa<\/p>\n
16.12.3.\u30bb\u30fc\u30eb\u30b9\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8<\/p>\n
16.12.4.\u4e3b\u8981\u5b50\u4f1a\u793e\u307e\u305f\u306f\u8ca9\u58f2\u4f1a\u793e<\/p>\n
16.12.5.\u6226\u7565\u3068\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411<\/p>\n
16.12.6.\u4e3b\u8981\u8ca1\u52d9\u60c5\u5831<\/p>\n
17.\u5e02\u5834\u6226\u7565<\/p>\n
17.1.\u6f5c\u5728\u7684\u5e02\u5834\u7a7a\u9593\u306e\u7279\u5b9a<\/p>\n
17.2.\u9867\u5ba2\u306e\u8cfc\u8cb7\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3092\u7406\u89e3\u3059\u308b<\/p>\n
17.3.\u671b\u307e\u3057\u3044\u8ca9\u58f2\u30fb\u30de\u30fc\u30b1\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u6226\u7565<\/p>\n
\u30c6\u30fc\u30d6\u30eb\u4e00\u89a7<\/p>\n
\u88681\uff1a\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u3001\u91d1\u984d\uff0810\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u30012017-2031\u5e74<\/p>\n
\u88682\uff1a\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u3001\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u30012017-2031\u5e74<\/p>\n
\u88683\uff1a\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u7528\u9014\u5225\u3001\u91d1\u984d\uff0810\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u30012017-2031\u5e74<\/p>\n
\u88684\uff1a\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u7523\u696d\u5206\u91ce\u5225\u3001\u91d1\u984d\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
\u88685\uff1a\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u306e\u4e16\u754c\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225\u3001\u91d1\u984d\uff08Bn\u30c9\u30eb\uff09\u30012017-2031\u5e74<\/p>\n
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\u88689\uff1a\u5317\u7c73\u306e\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u3001\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u30012017-2031\u5e74<\/p>\n
\u886810\uff1a\u5317\u7c73\u306e\u8584\u819c\u84b8\u7740\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u7528\u9014\u5225\u3001\u91d1\u984d\uff08Bn\u30c9\u30eb\uff09\u30012017-2031\u5e74<\/p>\n
\u886811\uff1a\u5317\u7c73\u306e\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u7523\u696d\u5206\u91ce\u5225\u3001\u91d1\u984d\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
\u886812\uff1a\u5317\u7c73\u306e\u8584\u819c\u84b8\u7740\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225\u3001\u91d1\u984d\uff08Bn\u30c9\u30eb\uff09\u30012017-2031\u5e74<\/p>\n
\u886813\uff1a\u5317\u7c73\u306e\u8584\u819c\u84b8\u7740\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u56fd\u5225\u91d1\u984d\uff0810\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
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\u886821\uff1a\u6b27\u5dde\u306e\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u56fd\u5225\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
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\u886823\uff1a\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306e\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u30bf\u30a4\u30d7\u5225\u3001\u6570\u91cf\uff08\u767e\u4e07\u53f0\uff09\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
\u886824\uff1a\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306e\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\u3001\u7528\u9014\u5225\u3001\u91d1\u984d\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u30012017\u5e74\uff5e2031\u5e74<\/p>\n
\u886825\uff1a\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306e\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\uff1a\u7523\u696d\u5225\u3001\u91d1\u984d\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\u30012017-2031\u5e74<\/p>\n
\u886826\uff1a\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306e\u8584\u819c\u6210\u819c\u88c5\u7f6e\u5e02\u5834\u898f\u6a21\u30fb\u4e88\u6e2c\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225\u3001\u91d1\u984d\uff08US$ Bn\uff09\u30012017-2031\u5e74<\/p>\n
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