 | • レポートコード：MRC23Q34730 • 出版社/出版日：QYResearch / 2023年3月 ※2025年版があります。お問い合わせください。 • レポート形態：英文、PDF、108ページ • 納品方法：Eメール（2-3日） • 産業分類：電子＆半導体 |
| Single User | ￥420,500 (USD2,900) | ▷ お問い合わせ |
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レポート概要
| 本調査レポートは世界の半導体用マスフローコントローラー市場について調査・分析し、世界の半導体用マスフローコントローラー市場概要、メーカー別競争状況、地域別生産量、地域別消費量、タイプ別セグメント分析（熱式、加圧式）、用途別セグメント分析（半導体処理炉、PVD/CVD装置、エッチング装置、その他）、主要企業のプロファイル、市場動向などに関する情報を掲載しています。主要企業としては、HORIBA、Fujikin、MKS Instruments、Sevenstar、Hitachi Metals, Ltd、Pivotal Systems、MKP、AZBIL、Bronkhorst、Lintec、Kofloc、Brooks、Sensirion、ACCU、Sierra Instrumentsなどが含まれています。世界の半導体用マスフローコントローラー市場は、2022年にXXX米ドル、2029年にはXXX米ドルに達すると予測され、予測期間中の年平均成長率はXXX％です。COVID-19とロシア・ウクライナ戦争による影響は、半導体用マスフローコントローラー市場規模を推定する際に考慮しました。本レポートは、半導体用マスフローコントローラーの世界市場を定量的・定性的な分析により包括的に提示し、読者がビジネス/成長戦略を策定し、市場競争状況を把握し、現在の市場における自社のポジションを分析し、半導体用マスフローコントローラーに関するビジネス上の意思決定に役立てることを目的としています。 ・半導体用マスフローコントローラー市場の概要 - 製品の定義 - 半導体用マスフローコントローラーのタイプ別セグメント - 世界の半導体用マスフローコントローラー市場成長率のタイプ別分析（熱式、加圧式） - 半導体用マスフローコントローラーの用途別セグメント - 世界の半導体用マスフローコントローラー市場成長率の用途別分析（半導体処理炉、PVD/CVD装置、エッチング装置、その他） - 世界市場の成長展望 - 世界の半導体用マスフローコントローラー生産量の推定と予測（2018年-2029年） - 世界の半導体用マスフローコントローラー生産能力の推定と予測（2018年-2029年） - 半導体用マスフローコントローラーの平均価格の推定と予測（2018年-2029年） - 前提条件と制限事項 ・メーカー別競争状況 - メーカー別市場シェア - 世界の主要メーカー、業界ランキング分析 - メーカー別平均価格 - 半導体用マスフローコントローラー市場の競争状況およびトレンド ・半導体用マスフローコントローラーの地域別生産量 - 半導体用マスフローコントローラー生産量の地域別推計と予測（2018年-2029年） - 地域別半導体用マスフローコントローラー価格分析（2018年-2023年） - 北米の半導体用マスフローコントローラー生産規模（2018年-2029年） - ヨーロッパの半導体用マスフローコントローラー生産規模（2018年-2029年） - 中国の半導体用マスフローコントローラー生産規模（2018年-2029年） - 日本の半導体用マスフローコントローラー生産規模（2018年-2029年） - 韓国の半導体用マスフローコントローラー生産規模（2018年-2029年） - インドの半導体用マスフローコントローラー生産規模（2018年-2029年） ・半導体用マスフローコントローラーの地域別消費量 - 半導体用マスフローコントローラー消費量の地域別推計と予測（2018年-2029年） - 北米の半導体用マスフローコントローラー消費量（2018年-2029年） - アメリカの半導体用マスフローコントローラー消費量（2018年-2029年） - ヨーロッパの半導体用マスフローコントローラー消費量（2018年-2029年） - アジア太平洋の半導体用マスフローコントローラー消費量（2018年-2029年） - 中国の半導体用マスフローコントローラー消費量（2018年-2029年） - 日本の半導体用マスフローコントローラー消費量（2018年-2029年） - 韓国の半導体用マスフローコントローラー消費量（2018年-2029年） - 東南アジアの半導体用マスフローコントローラー消費量（2018年-2029年） - インドの半導体用マスフローコントローラー消費量（2018年-2029年） - 中南米・中東・アフリカの半導体用マスフローコントローラー消費量（2018年-2029年） ・タイプ別セグメント：熱式、加圧式 - 世界の半導体用マスフローコントローラーのタイプ別生産量（2018年-2023年） - 世界の半導体用マスフローコントローラーのタイプ別生産量（2024年-2029年） - 世界の半導体用マスフローコントローラーのタイプ別価格 ・用途別セグメント：半導体処理炉、PVD/CVD装置、エッチング装置、その他 - 世界の半導体用マスフローコントローラーの用途別生産量（2018年-2023年） - 世界の半導体用マスフローコントローラーの用途別生産量（2024年-2029年） - 世界の半導体用マスフローコントローラーの用途別価格 ・主要企業のプロファイル：企業情報、製品ポートフォリオ、生産量、価格、動向 HORIBA、Fujikin、MKS Instruments、Sevenstar、Hitachi Metals, Ltd、Pivotal Systems、MKP、AZBIL、Bronkhorst、Lintec、Kofloc、Brooks、Sensirion、ACCU、Sierra Instruments ・産業チェーンと販売チャネルの分析 - 半導体用マスフローコントローラー産業チェーン分析 - 半導体用マスフローコントローラーの主要原材料 - 半導体用マスフローコントローラーの販売チャネル - 半導体用マスフローコントローラーのディストリビューター - 半導体用マスフローコントローラーの主要顧客 ・半導体用マスフローコントローラー市場ダイナミクス - 半導体用マスフローコントローラーの業界動向 - 半導体用マスフローコントローラー市場の成長ドライバ、課題、阻害要因 ・調査成果および結論 ・調査方法とデータソース |
A mass flow controller (MFC) is a device used to measure and control the flow of liquids and gases. A mass flow controller is designed and calibrated to control a specific type of liquid or gas at a particular range of flow rates.
Highlights
The global Semiconductor Mass Flow Controller market was valued at US$ 751 million in 2022 and is anticipated to reach US$ 1114.5 million by 2029, witnessing a CAGR of 6.2% during the forecast period 2023-2029. The influence of COVID-19 and the Russia-Ukraine War were considered while estimating market sizes.
Global key players of semiconductor mass flow controller include HORIBA, Fujikin, etc. Global top two manufacturers hold a share over 60%. Japan is the largest producer, holding a share about 40%, followed by North America and China, with share 19% and 17%, separately. The largest market is China, holds a share about 29%, followed by North America and Europe, with around 16% and 15% market share respectively.
Report Scope
This report aims to provide a comprehensive presentation of the global market for Semiconductor Mass Flow Controller, with both quantitative and qualitative analysis, to help readers develop business/growth strategies, assess the market competitive situation, analyze their position in the current marketplace, and make informed business decisions regarding Semiconductor Mass Flow Controller.
The Semiconductor Mass Flow Controller market size, estimations, and forecasts are provided in terms of output/shipments (K Units) and revenue ($ millions), considering 2022 as the base year, with history and forecast data for the period from 2018 to 2029. This report segments the global Semiconductor Mass Flow Controller market comprehensively. Regional market sizes, concerning products by type, by application and by players, are also provided.
For a more in-depth understanding of the market, the report provides profiles of the competitive landscape, key competitors, and their respective market ranks. The report also discusses technological trends and new product developments.
The report will help the Semiconductor Mass Flow Controller manufacturers, new entrants, and industry chain related companies in this market with information on the revenues, production, and average price for the overall market and the sub-segments across the different segments, by company, by type, by application, and by regions.
By Company
HORIBA
Fujikin
MKS Instruments
Sevenstar
Hitachi Metals, Ltd
Pivotal Systems
MKP
AZBIL
Bronkhorst
Lintec
Kofloc
Brooks
Sensirion
ACCU
Sierra Instruments
Segment by Type
Thermal Type
Pressure Type
Segment by Application
Semiconductor Processing Furnace
PVD&CVD Equipment
Etching Equipment
Others
Production by Region
North America
Europe
China
Japan
Consumption by Region
North America
United States
Canada
Europe
Germany
France
U.K.
Italy
Russia
Asia-Pacific
China
Japan
South Korea
India
Australia
China Taiwan
Indonesia
Thailand
Malaysia
Latin America
Mexico
Brazil
Argentina
Core Chapters
Chapter 1: Introduces the report scope of the report, executive summary of different market segments (by region, by type, by application, etc), including the market size of each market segment, future development potential, and so on. It offers a high-level view of the current state of the market and its likely evolution in the short to mid-term, and long term.
Chapter 2: Detailed analysis of Semiconductor Mass Flow Controller manufacturers competitive landscape, price, production and value market share, latest development plan, merger, and acquisition information, etc.
Chapter 3: Production/output, value of Semiconductor Mass Flow Controller by region/country. It provides a quantitative analysis of the market size and development potential of each region in the next six years.
Chapter 4: Consumption of Semiconductor Mass Flow Controller in regional level and country level. It provides a quantitative analysis of the market size and development potential of each region and its main countries and introduces the market development, future development prospects, market space, and production of each country in the world.
Chapter 5: Provides the analysis of various market segments by type, covering the market size and development potential of each market segment, to help readers find the blue ocean market in different market segments.
Chapter 6: Provides the analysis of various market segments by application, covering the market size and development potential of each market segment, to help readers find the blue ocean market in different downstream markets.
Chapter 7: Provides profiles of key players, introducing the basic situation of the key companies in the market in detail, including product production/output, value, price, gross margin, product introduction, recent development, etc.
Chapter 8: Analysis of industrial chain, including the upstream and downstream of the industry.
Chapter 9: Introduces the market dynamics, latest developments of the market, the driving factors and restrictive factors of the market, the challenges and risks faced by manufacturers in the industry, and the analysis of relevant policies in the industry.
Chapter 10: The main points and conclusions of the report.
1 Semiconductor Mass Flow Controller Market Overview
1.1 Product Definition
1.2 Semiconductor Mass Flow Controller Segment by Type
1.2.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Market Value Growth Rate Analysis by Type 2022 VS 2029
1.2.2 Thermal Type
1.2.3 Pressure Type
1.3 Semiconductor Mass Flow Controller Segment by Application
1.3.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Market Value Growth Rate Analysis by Application: 2022 VS 2029
1.3.2 Semiconductor Processing Furnace
1.3.3 PVD&CVD Equipment
1.3.4 Etching Equipment
1.3.5 Others
1.4 Global Market Growth Prospects
1.4.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value Estimates and Forecasts (2018-2029)
1.4.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Capacity Estimates and Forecasts (2018-2029)
1.4.3 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Estimates and Forecasts (2018-2029)
1.4.4 Global Semiconductor Mass Flow Controller Market Average Price Estimates and Forecasts (2018-2029)
1.5 Assumptions and Limitations
2 Market Competition by Manufacturers
2.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Market Share by Manufacturers (2018-2023)
2.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value Market Share by Manufacturers (2018-2023)
2.3 Global Key Players of Semiconductor Mass Flow Controller, Industry Ranking, 2021 VS 2022 VS 2023
2.4 Global Semiconductor Mass Flow Controller Market Share by Company Type (Tier 1, Tier 2 and Tier 3)
2.5 Global Semiconductor Mass Flow Controller Average Price by Manufacturers (2018-2023)
2.6 Global Key Manufacturers of Semiconductor Mass Flow Controller, Manufacturing Base Distribution and Headquarters
2.7 Global Key Manufacturers of Semiconductor Mass Flow Controller, Product Offered and Application
2.8 Global Key Manufacturers of Semiconductor Mass Flow Controller, Date of Enter into This Industry
2.9 Semiconductor Mass Flow Controller Market Competitive Situation and Trends
2.9.1 Semiconductor Mass Flow Controller Market Concentration Rate
2.9.2 Global 5 and 10 Largest Semiconductor Mass Flow Controller Players Market Share by Revenue
2.10 Mergers & Acquisitions, Expansion
3 Semiconductor Mass Flow Controller Production by Region
3.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value Estimates and Forecasts by Region: 2018 VS 2022 VS 2029
3.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value by Region (2018-2029)
3.2.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value Market Share by Region (2018-2023)
3.2.2 Global Forecasted Production Value of Semiconductor Mass Flow Controller by Region (2024-2029)
3.3 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Estimates and Forecasts by Region: 2018 VS 2022 VS 2029
3.4 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production by Region (2018-2029)
3.4.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Market Share by Region (2018-2023)
3.4.2 Global Forecasted Production of Semiconductor Mass Flow Controller by Region (2024-2029)
3.5 Global Semiconductor Mass Flow Controller Market Price Analysis by Region (2018-2023)
3.6 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production and Value, Year-over-Year Growth
3.6.1 North America Semiconductor Mass Flow Controller Production Value Estimates and Forecasts (2018-2029)
3.6.2 Europe Semiconductor Mass Flow Controller Production Value Estimates and Forecasts (2018-2029)
3.6.3 China Semiconductor Mass Flow Controller Production Value Estimates and Forecasts (2018-2029)
3.6.4 Japan Semiconductor Mass Flow Controller Production Value Estimates and Forecasts (2018-2029)
4 Semiconductor Mass Flow Controller Consumption by Region
4.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Consumption Estimates and Forecasts by Region: 2018 VS 2022 VS 2029
4.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Consumption by Region (2018-2029)
4.2.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Consumption by Region (2018-2023)
4.2.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Forecasted Consumption by Region (2024-2029)
4.3 North America
4.3.1 North America Semiconductor Mass Flow Controller Consumption Growth Rate by Country: 2018 VS 2022 VS 2029
4.3.2 North America Semiconductor Mass Flow Controller Consumption by Country (2018-2029)
4.3.3 United States
4.3.4 Canada
4.4 Europe
4.4.1 Europe Semiconductor Mass Flow Controller Consumption Growth Rate by Country: 2018 VS 2022 VS 2029
4.4.2 Europe Semiconductor Mass Flow Controller Consumption by Country (2018-2029)
4.4.3 Germany
4.4.4 France
4.4.5 U.K.
4.4.6 Italy
4.4.7 Russia
4.5 Asia Pacific
4.5.1 Asia Pacific Semiconductor Mass Flow Controller Consumption Growth Rate by Region: 2018 VS 2022 VS 2029
4.5.2 Asia Pacific Semiconductor Mass Flow Controller Consumption by Region (2018-2029)
4.5.3 China
4.5.4 Japan
4.5.5 South Korea
4.5.6 China Taiwan
4.5.7 Southeast Asia
4.5.8 India
4.6 Latin America, Middle East & Africa
4.6.1 Latin America, Middle East & Africa Semiconductor Mass Flow Controller Consumption Growth Rate by Country: 2018 VS 2022 VS 2029
4.6.2 Latin America, Middle East & Africa Semiconductor Mass Flow Controller Consumption by Country (2018-2029)
4.6.3 Mexico
4.6.4 Brazil
4.6.5 Turkey
5 Segment by Type
5.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production by Type (2018-2029)
5.1.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production by Type (2018-2023)
5.1.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production by Type (2024-2029)
5.1.3 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Market Share by Type (2018-2029)
5.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value by Type (2018-2029)
5.2.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value by Type (2018-2023)
5.2.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value by Type (2024-2029)
5.2.3 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value Market Share by Type (2018-2029)
5.3 Global Semiconductor Mass Flow Controller Price by Type (2018-2029)
6 Segment by Application
6.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production by Application (2018-2029)
6.1.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production by Application (2018-2023)
6.1.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production by Application (2024-2029)
6.1.3 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Market Share by Application (2018-2029)
6.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value by Application (2018-2029)
6.2.1 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value by Application (2018-2023)
6.2.2 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value by Application (2024-2029)
6.2.3 Global Semiconductor Mass Flow Controller Production Value Market Share by Application (2018-2029)
6.3 Global Semiconductor Mass Flow Controller Price by Application (2018-2029)
7 Key Companies Profiled
7.1 HORIBA
7.1.1 HORIBA Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.1.2 HORIBA Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.1.3 HORIBA Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.1.4 HORIBA Main Business and Markets Served
7.1.5 HORIBA Recent Developments/Updates
7.2 Fujikin
7.2.1 Fujikin Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.2.2 Fujikin Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.2.3 Fujikin Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.2.4 Fujikin Main Business and Markets Served
7.2.5 Fujikin Recent Developments/Updates
7.3 MKS Instruments
7.3.1 MKS Instruments Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.3.2 MKS Instruments Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.3.3 MKS Instruments Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.3.4 MKS Instruments Main Business and Markets Served
7.3.5 MKS Instruments Recent Developments/Updates
7.4 Sevenstar
7.4.1 Sevenstar Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.4.2 Sevenstar Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.4.3 Sevenstar Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.4.4 Sevenstar Main Business and Markets Served
7.4.5 Sevenstar Recent Developments/Updates
7.5 Hitachi Metals, Ltd
7.5.1 Hitachi Metals, Ltd Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.5.2 Hitachi Metals, Ltd Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.5.3 Hitachi Metals, Ltd Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.5.4 Hitachi Metals, Ltd Main Business and Markets Served
7.5.5 Hitachi Metals, Ltd Recent Developments/Updates
7.6 Pivotal Systems
7.6.1 Pivotal Systems Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.6.2 Pivotal Systems Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.6.3 Pivotal Systems Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.6.4 Pivotal Systems Main Business and Markets Served
7.6.5 Pivotal Systems Recent Developments/Updates
7.7 MKP
7.7.1 MKP Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.7.2 MKP Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.7.3 MKP Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.7.4 MKP Main Business and Markets Served
7.7.5 MKP Recent Developments/Updates
7.8 AZBIL
7.8.1 AZBIL Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.8.2 AZBIL Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.8.3 AZBIL Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.8.4 AZBIL Main Business and Markets Served
7.7.5 AZBIL Recent Developments/Updates
7.9 Bronkhorst
7.9.1 Bronkhorst Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.9.2 Bronkhorst Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.9.3 Bronkhorst Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.9.4 Bronkhorst Main Business and Markets Served
7.9.5 Bronkhorst Recent Developments/Updates
7.10 Lintec
7.10.1 Lintec Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.10.2 Lintec Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.10.3 Lintec Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.10.4 Lintec Main Business and Markets Served
7.10.5 Lintec Recent Developments/Updates
7.11 Kofloc
7.11.1 Kofloc Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.11.2 Kofloc Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.11.3 Kofloc Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.11.4 Kofloc Main Business and Markets Served
7.11.5 Kofloc Recent Developments/Updates
7.12 Brooks
7.12.1 Brooks Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.12.2 Brooks Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.12.3 Brooks Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.12.4 Brooks Main Business and Markets Served
7.12.5 Brooks Recent Developments/Updates
7.13 Sensirion
7.13.1 Sensirion Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.13.2 Sensirion Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.13.3 Sensirion Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.13.4 Sensirion Main Business and Markets Served
7.13.5 Sensirion Recent Developments/Updates
7.14 ACCU
7.14.1 ACCU Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.14.2 ACCU Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.14.3 ACCU Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.14.4 ACCU Main Business and Markets Served
7.14.5 ACCU Recent Developments/Updates
7.15 Sierra Instruments
7.15.1 Sierra Instruments Semiconductor Mass Flow Controller Corporation Information
7.15.2 Sierra Instruments Semiconductor Mass Flow Controller Product Portfolio
7.15.3 Sierra Instruments Semiconductor Mass Flow Controller Production, Value, Price and Gross Margin (2018-2023)
7.15.4 Sierra Instruments Main Business and Markets Served
7.15.5 Sierra Instruments Recent Developments/Updates
8 Industry Chain and Sales Channels Analysis
8.1 Semiconductor Mass Flow Controller Industry Chain Analysis
8.2 Semiconductor Mass Flow Controller Key Raw Materials
8.2.1 Key Raw Materials
8.2.2 Raw Materials Key Suppliers
8.3 Semiconductor Mass Flow Controller Production Mode & Process
8.4 Semiconductor Mass Flow Controller Sales and Marketing
8.4.1 Semiconductor Mass Flow Controller Sales Channels
8.4.2 Semiconductor Mass Flow Controller Distributors
8.5 Semiconductor Mass Flow Controller Customers
9 Semiconductor Mass Flow Controller Market Dynamics
9.1 Semiconductor Mass Flow Controller Industry Trends
9.2 Semiconductor Mass Flow Controller Market Drivers
9.3 Semiconductor Mass Flow Controller Market Challenges
9.4 Semiconductor Mass Flow Controller Market Restraints
10 Research Finding and Conclusion
11 Methodology and Data Source
11.1 Methodology/Research Approach
11.1.1 Research Programs/Design
11.1.2 Market Size Estimation
11.1.3 Market Breakdown and Data Triangulation
11.2 Data Source
11.2.1 Secondary Sources
11.2.2 Primary Sources
11.3 Author List
11.4 Disclaimer
| 【半導体用マスフローコントローラーについて】 ※半導体用マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスにおいてガスの流量を正確に制御するための装置です。この装置は、半導体製造に不可欠な様々な化学ガスや気体を精密に管理する役割を果たしています。以下では、その概念、特徴、種類、用途、関連技術について詳しく述べます。 マスフローコントローラーは、流量を測定し、所定の流量に調整することができる装置です。これは、流体力学に基づいて、流体が装置を通過する際に発生する物理的な特性を利用して動作します。特に半導体製造のプロセスでは、特定の化合物が必要とされるため、正確な流量制御が非常に重要です。マスフローコントローラーは、プロセスガスの流量をリアルタイムで監視・制御し、製造品質を向上させる役割を担っています。 この装置の特徴としては、まず高い精度があります。半導体産業では、微細な変化が製品の品質に直結するため、流量の誤差を最小限に抑えることが求められます。また、半導体製造は、高速でのプロセスが求められるため、応答速度も極めて重要です。これに対してマスフローコントローラーは、短時間で流量の調整を行う能力を持っています。 さらに、マスフローコントローラーは、幅広い流量範囲で使用できるとしても知られています。経済的な観点から見ると、供給されるガスの種類や必要な流量によって選択肢が変わるため、柔軟性が求められます。また、耐久性もポイントです。半導体製造プロセスでは、過酷な条件下でも安定した性能を発揮する必要があり、耐腐食性や耐高温性を備えた材料が用いられることが一般的です。 一般的に、半導体用マスフローコントローラーは、以下のような種類に分類されます。最初に、熱式流量センサーを搭載しているタイプがあります。これらは、流体の温度変化を利用して流量を測定します。通常、比較的低流量のガスの制御に適しています。 次に、圧力差式流量計を使用するタイプもあります。これらは、流体の流れる体積と圧力差を基に流量を計算し、様々なタイプのガスに対応可能です。さらに、質量式流量計もあり、このタイプは流体の密度を考慮し、より高い精度で流量管理を行うことができます。 マスフローコントローラーの用途は、主に半導体製造に関わるプロセスに集中していますが、その他にも様々な産業で利用されています。例えば、薄膜製造、化学合成、材料試験、さらには医療機器の分野においてもその正確性と信頼性から重宝されています。特に、真空環境下でのガス供給が必要なプロセスでは、マスフローコントローラーの存在が不可欠です。 さらに、半導体製造に特化したマスフローコントローラーは、それぞれのプロセス条件に応じた独自のキャリブレーションが施されています。これは、製造プロセスにおいて制御精度と一貫性を高めるために重要です。たとえば、PECVD（プラズマ強化化学蒸着）やCVD（化学蒸着）などのプロセスでは、使用するガスの種類や反応温度、圧力により流量の要求が異なります。そのため、マスフローコントローラーの設計や選定は非常に特異的です。 関連技術としては、センサー技術や制御アルゴリズム、デジタルインターフェースが挙げられます。センサー技術に関しては、マスフローコントローラーが流体の特性を正確に把握するためには、高度なセンサー技術が必要です。これにより、信号処理が行われ、流量データがリアルタイムで得られます。また、流量制御のためのアルゴリズムは、流量の変動に応じて動的に調整されるため、計算能力の高いマイコンやDSP（デジタル信号プロセッサ）が必要です。 さらに、現代の半導体製造プロセスにおいては、IoT技術の導入が広まっており、マスフローコントローラーも遠隔監視やデータ分析が可能なインテリジェントなシステムに進化しています。これにより、プロセスの効率化や収率向上が期待されています。 最後に、環境への配慮も重要です。最近では、環境負荷の低減が世界的に求められているため、半導体用マスフローコントローラーにおいても、エネルギー効率や材料のリサイクルなどの観点が重視されるようになっています。サステナブルな技術開発が進む中で、今後の半導体製造におけるマスフローコントローラーの進化が期待されます。 このように、半導体用マスフローコントローラーは、その精度、耐久性、柔軟性により、半導体製造プロセスにおいて欠かせない装置となっています。関連技術の進化とともに、さらなる機能向上が期待され、その役割は今後もますます増大していくことでしょう。 |
