 | • レポートコード：MMG23DC11891 • 出版社/出版日：Market Monitor Global / 2025年9月 • レポート形態：英語、PDF、78ページ • 納品方法：Eメール（受注後2-3営業日） • 産業分類：機械&装置 |
| Single User（1名様閲覧用） | ￥471,250 (USD3,250) | ▷ お問い合わせ |
| Multi User（20名様閲覧用） | ￥612,625 (USD4,225) | ▷ お問い合わせ |
| Enterprise User（閲覧人数制限なし） | ￥706,875 (USD4,875) | ▷ お問い合わせ |
• お支払方法：銀行振込（納品後、ご請求書送付）
レポート概要
世界のウェーハドライクリーニング装置市場は2024年に百万ドルと評価され、予測期間中に年平均成長率（CAGR）％で成長し、2031年までに百万米ドルに達すると予測されている。
ドライクリーニング装置は、液体や溶剤を使用せずに半導体ウエハーを洗浄するために用いられる。この種の洗浄は、残留物のリスクを排除し、粒子汚染のリスクを低減するため、ウェット洗浄よりも好まれることが多い。ドライクリーニング装置には、プラズマ洗浄装置、気相洗浄装置、機械的・熱的洗浄システムなどの物理的洗浄装置など、様々な形態がある。
プラズマ洗浄、気相洗浄、物理的洗浄は、半導体産業において表面から汚染物質を除去するために用いられる手法である。各手法には固有の長所と短所があり、最適な手法は具体的な洗浄要件によって異なる。
プラズマ洗浄はプラズマ放電を用いて表面から汚染物質を除去する。この方法は有機物・無機物の除去に有効だが、適切に制御しないと表面損傷を引き起こす可能性がある。
気相洗浄は、溶剤を気化する温度まで加熱して使用します。気化した溶剤が表面の汚染物質と反応し、溶解または除去します。この方法は有機汚染物質の除去に効果的ですが、高コストで時間がかかる場合があります。
物理的洗浄は、ブラッシングやブラスト処理などの物理的手段を用いて表面から汚染物質を除去します。この方法は粒子や破片の除去に効果的ですが、より頑固な汚染物質の除去には効果が限定される場合があります。
まとめると、プラズマ洗浄は幅広い汚染物質の除去に効果的、気相洗浄は有機物の除去に最適、物理的洗浄は粒子や破片の除去に最適である。
物理的洗浄は、ブラシやブラストなどの物理的手法を用いて表面から汚染物質を除去する。この方法は粒子や破片の除去に効果的だが、より頑固な汚染物質の除去には効果が限定的である。
米国市場規模は2024年に百万ドルと推定され、中国は百万ドルに達する見込みである。
プラズマ洗浄装置セグメントは2031年までに百万ドル規模に達し、今後6年間で％のCAGR（年平均成長率）が見込まれる。
ウェーハドライ洗浄装置の世界的な主要メーカーには、アプライドマテリアルズ、ブルカーコーポレーション、IMT株式会社、ラムリサーチ、東京エレクトロン株式会社、PSK株式会社、プラズマサーム、ノベラスシステムズ、オックスフォードインスツルメンツ、KLAコーポレーションなどが含まれる。2024年、世界のトップ5企業は収益ベースで約％のシェアを占めた。
MARKET MONITOR GLOBAL, INC（MMG）は、この業界のウェハー乾式洗浄装置メーカー、サプライヤー、ディストリビューター、業界専門家を対象に調査を実施。販売、収益、需要、価格変動、製品タイプ、最新動向と計画、業界トレンド、推進要因、課題、障壁、潜在リスクを網羅。
本レポートは、ウェーハドライクリーニング装置の世界市場を定量的・定性的分析により包括的に提示し、読者が事業／成長戦略の策定、市場競争状況の評価、現行市場における自社の位置付け分析、ウェーハドライクリーニング装置に関する情報に基づいた事業判断を行うことを支援することを目的としています。本レポートには、以下の市場情報を含むウェーハドライクリーニング装置の世界市場規模と予測が含まれています：
グローバルウェーハドライクリーニング装置市場収益（2020-2025年、2026-2031年、単位：百万ドル）
世界のウェーハドライクリーニング装置市場販売台数、2020-2025年、2026-2031年（千台）
2024年における世界のウェーハドライクリーニング装置トップ5企業（%）
セグメント別市場規模合計：
タイプ別グローバルウェーハドライクリーニング装置市場規模（2020-2025年、2026-2031年）（百万ドル）＆（千台）
タイプ別グローバルウェーハドライクリーニング装置市場セグメント割合、2024年（％）
プラズマ洗浄装置
気相洗浄装置
物理的洗浄装置
用途別グローバルウェーハドライ洗浄装置市場、2020-2025年、2026-2031年（百万ドル）＆（千台）
用途別グローバルウェーハドライ洗浄装置市場セグメント割合、2024年（％）
半導体
太陽光発電産業
MEMS（微小電気機械システム）
オプトエレクトロニクス産業
ナノテクノロジー
その他
世界のウェーハ乾式洗浄装置市場、地域別・国別、2020-2025年、2026-2031年（百万ドル）＆（千台）
地域・国別グローバルウェーハドライクリーニング装置市場セグメント割合、2024年（％）
北米
米国
カナダ
メキシコ
ヨーロッパ
ドイツ
フランス
イギリス
イタリア
ロシア
北欧諸国
ベネルクス
その他のヨーロッパ諸国
アジア
中国
日本
韓国
東南アジア
インド
アジアその他
南アメリカ
ブラジル
アルゼンチン
南米その他
中東・アフリカ
トルコ
イスラエル
サウジアラビア
アラブ首長国連邦
その他中東・アフリカ
競合分析
本レポートでは、主要市場参加者の分析も提供しています：
主要企業のウェーハドライクリーニング装置の世界市場における収益（2020-2025年、推定）、（百万ドル）
主要企業によるウェーハドライクリーニング装置の世界市場における売上高シェア（2024年、％）
主要企業のウェーハドライクリーニング装置の世界市場における販売台数、2020-2025年（推定）、（千台）
主要企業のウェーハドライクリーニング装置の世界市場における販売シェア、2024年（％）
さらに、本レポートでは市場における競合他社のプロファイルを提示しており、主要プレイヤーには以下が含まれます：
アプライド マテリアルズ
ブルカー・コーポレーション
IMT株式会社
ラムリサーチ
東京エレクトロン株式会社
PSK株式会社
プラズマサーム
ノベラス・システムズ
Oxford Instruments
KLA社
TEL NEXX Inc
ルドルフ・テクノロジーズ
主要章の概要：
第1章：ウェーハドライ洗浄装置の定義と市場概要を紹介。
第2章：世界のウェーハドライクリーニング装置市場の規模（収益と数量）。
第3章：ウェーハドライ洗浄装置メーカーの競争環境、価格、販売量・収益市場シェア、最新開発計画、合併・買収情報などの詳細分析。
第4章：タイプ別市場セグメント分析を提供し、各セグメントの市場規模と成長可能性をカバー。読者が異なる市場セグメントにおけるブルーオーシャン市場を発見する支援。
第5章：用途別市場セグメント分析を提供。各セグメントの市場規模と発展可能性を網羅し、読者が異なる下流市場におけるブルーオーシャン市場を発見するのを支援。
第6章：地域レベルおよび国レベルにおけるウエハー乾式洗浄装置の販売状況。各地域および主要国の市場規模と発展可能性の定量分析を提供し、世界の各国の市場発展、将来の発展見通し、市場規模を紹介する。
第7章：主要企業のプロファイルを提供し、市場における主要企業の基本状況を詳細に紹介。製品販売、収益、価格、粗利益率、製品紹介、最近の開発状況などを含む。
第8章：地域別・国別のグローバルウェーハドライクリーニング装置生産能力。
第9章：市場動向、最新動向、市場の推進要因と制約要因、業界メーカーが直面する課題とリスク、関連政策の分析を紹介。
第10章：産業チェーン分析（産業の上流・下流を含む）。
第11章：報告書の要点と結論。
1 研究・分析レポートの概要
1.1 ウェーハ乾式洗浄装置市場の定義
1.2 市場セグメント
1.2.1 タイプ別セグメント
1.2.2 用途別セグメント
1.3 世界のウェーハ乾式洗浄装置市場概要
1.4 本レポートの特徴と利点
1.5 調査方法論と情報源
1.5.1 調査方法論
1.5.2 調査プロセス
1.5.3 基準年
1.5.4 レポートの前提条件と注意事項
2 世界のウエハー乾式洗浄装置市場規模
2.1 世界のウェーハ乾式洗浄装置市場規模：2024年対2031年
2.2 世界のウェーハ乾式洗浄装置市場規模、見通し及び予測：2020-2031年
2.3 世界のウェーハドライクリーニング装置販売：2020-2031年
3 企業動向
3.1 グローバル市場における主要ウェーハドライクリーニング装置メーカー
3.2 収益別グローバルウェーハドライクリーニング装置トップ企業ランキング
3.3 企業別グローバルウェーハドライクリーニング装置収益
3.4 グローバルウェーハドライクリーニング装置の企業別販売台数
3.5 メーカー別グローバルウェーハドライクリーニング装置価格（2020-2025年）
3.6 2024年売上高ベースの世界市場におけるトップ3およびトップ5のウェーハドライクリーニング装置企業
3.7 グローバルメーカー別ウェーハドライクリーニング装置製品タイプ
3.8 グローバル市場におけるウェハドライクリーニング装置のティア1、ティア2、ティア3プレイヤー
3.8.1 グローバルティア1ウェーハドライクリーニング装置企業一覧
3.8.2 グローバルティア2およびティア3ウェーハドライクリーニング装置企業一覧
4 製品別動向
4.1 概要
4.1.1 タイプ別セグメント – 世界のウェーハドライ洗浄装置市場規模、2024年および2031年
4.1.2 プラズマ洗浄装置
4.1.3 気相洗浄装置
4.1.4 物理的洗浄装置
4.2 タイプ別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置の収益と予測
4.2.1 タイプ別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置収益、2020-2025年
4.2.2 タイプ別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置収益、2026-2031年
4.2.3 タイプ別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置収益市場シェア、2020-2031年
4.3 タイプ別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置の販売および予測
4.3.1 タイプ別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置販売台数、2020-2025年
4.3.2 タイプ別セグメント – 世界のウェーハドライクリーニング装置販売、2026-2031年
4.3.3 タイプ別セグメント – 世界のウェーハドライクリーニング装置販売市場シェア、2020-2031年
4.4 タイプ別セグメント – 世界のウェーハドライクリーニング装置価格（メーカー販売価格）、2020-2031年
5 用途別市場動向
5.1 概要
5.1.1 用途別セグメント – 世界のウェーハドライクリーニング装置市場規模、2024年および2031年
5.1.2 半導体
5.1.3 太陽光発電産業
5.1.4 MEMS（微小電気機械システム）
5.1.5 オプトエレクトロニクス産業
5.1.6 ナノテクノロジー
5.1.7 その他
5.2 用途別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置の収益と予測
5.2.1 用途別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置収益、2020-2025年
5.2.2 用途別セグメント – 世界のウェーハドライクリーニング装置収益、2026-2031年
5.2.3 用途別セグメント – 世界のウェーハドライクリーニング装置収益市場シェア、2020-2031年
5.3 用途別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置の販売量と予測
5.3.1 用途別セグメント – 世界のウェーハドライクリーニング装置販売台数、2020-2025年
5.3.2 用途別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置販売、2026-2031年
5.3.3 用途別セグメント – 世界のウェーハ乾式洗浄装置販売市場シェア、2020-2031年
5.4 用途別セグメント – 世界のウェーハドライクリーニング装置価格（メーカー販売価格）、2020-2031年
6 地域別展望
6.1 地域別 – 世界のウェーハドライクリーニング装置市場規模、2024年及び2031年
6.2 地域別 – 世界のウェーハドライクリーニング装置収益及び予測
6.2.1 地域別 – 世界のウェーハドライクリーニング装置収益、2020-2025年
6.2.2 地域別 – 世界のウェーハ乾式洗浄装置収益、2026-2031年
6.2.3 地域別 – 世界のウェーハ乾式洗浄装置収益市場シェア、2020-2031年
6.3 地域別 – 世界のウェーハ乾式洗浄装置の販売量と予測
6.3.1 地域別 – 世界のウェーハ乾式洗浄装置販売量、2020-2025年
6.3.2 地域別 – 世界のウェーハドライクリーニング装置販売、2026-2031年
6.3.3 地域別 – 世界のウェーハドライクリーニング装置販売市場シェア、2020-2031年
6.4 北米
6.4.1 国別 – 北米のウェーハドライクリーニング装置収益、2020-2031年
6.4.2 国別 – 北米のウェーハドライクリーニング装置販売、2020-2031年
6.4.3 米国ウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.4.4 カナダにおけるウェーハドライクリーニング装置の市場規模、2020-2031年
6.4.5 メキシコにおけるウェーハドライクリーニング装置の市場規模、2020-2031年
6.5 ヨーロッパ
6.5.1 国別 – ヨーロッパのウェーハドライクリーニング装置収益、2020-2031年
6.5.2 国別 – 欧州のウエハードライクリーニング装置販売台数、2020-2031年
6.5.3 ドイツのウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.5.4 フランスにおけるウエハードライクリーニング装置の市場規模、2020-2031年
6.5.5 イギリスにおけるウェーハドライクリーニング装置の市場規模、2020-2031年
6.5.6 イタリアのウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.5.7 ロシアのウェーハ乾式洗浄装置市場規模、2020-2031年
6.5.8 北欧諸国におけるウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.5.9 ベネルクス諸国におけるウエハー乾燥洗浄装置市場規模（2020-2031年）
6.6 アジア
6.6.1 地域別 – アジアのウェーハドライクリーニング装置収益、2020-2031年
6.6.2 地域別 – アジアのウェーハドライクリーニング装置販売台数、2020-2031年
6.6.3 中国のウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.6.4 日本のウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.6.5 韓国のウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.6.6 東南アジアのウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.6.7 インドのウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.7 南米
6.7.1 国別 – 南米のウェーハドライクリーニング装置収益、2020-2031年
6.7.2 国別 – 南米のウェーハドライクリーニング装置販売台数、2020-2031年
6.7.3 ブラジルにおけるウエハードライクリーニング装置の市場規模、2020-2031年
6.7.4 アルゼンチン ウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.8 中東・アフリカ
6.8.1 国別 – 中東・アフリカにおけるウェーハドライクリーニング装置の収益、2020-2031年
6.8.2 国別 – 中東・アフリカにおけるウェーハドライクリーニング装置の販売、2020-2031年
6.8.3 トルコにおけるウエハー乾燥洗浄装置の市場規模、2020-2031年
6.8.4 イスラエルのウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.8.5 サウジアラビアのウェーハドライクリーニング装置市場規模、2020-2031年
6.8.6 アラブ首長国連邦（UAE）のウエハー乾燥洗浄装置市場規模、2020-2031年
7 メーカー及びブランドプロファイル
7.1 アプライド マテリアルズ
7.1.1 アプライド マテリアルズ 会社概要
7.1.2 アプライド マテリアルズの事業概要
7.1.3 アプライド マテリアルズ ウェーハ乾式洗浄装置の主要製品ラインアップ
7.1.4 アプライド マテリアルズ ウェーハ乾式洗浄装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.1.5 アプライド マテリアルズの主要ニュースと最新動向
7.2 ブルカー・コーポレーション
7.2.1 ブルカー・コーポレーション 会社概要
7.2.2 ブルカー・コーポレーション事業概要
7.2.3 ブルカー社のウェーハ乾式洗浄装置の主要製品ラインアップ
7.2.4 ブルカー社のウェーハ乾式洗浄装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.2.5 ブルカー社の主なニュースと最新動向
7.3 IMT株式会社
7.3.1 IMT株式会社 会社概要
7.3.2 IMT株式会社の事業概要
7.3.3 IMT株式会社のウエハー乾式洗浄装置の主要製品ラインアップ
7.3.4 IMT株式会社のウェーハドライクリーニング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.3.5 IMT株式会社の主要ニュースと最新動向
7.4 ラムリサーチ
7.4.1 ラムリサーチ会社概要
7.4.2 ラムリサーチ事業概要
7.4.3 ラムリサーチのウエハー乾式洗浄装置における主要製品ラインアップ
7.4.4 ラムリサーチのウェーハドライクリーニング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.4.5 ラムリサーチの主要ニュースと最新動向
7.5 東京エレクトロン株式会社
7.5.1 東京エレクトロン株式会社 会社概要
7.5.2 東京エレクトロン株式会社の事業概要
7.5.3 東京エレクトロン株式会社のウェーハ乾式洗浄装置の主要製品ラインアップ
7.5.4 東京エレクトロン株式会社のウェーハドライクリーニング装置の世界における売上高および収益（2020-2025年）
7.5.5 東京エレクトロン株式会社の主なニュースと最新動向
7.6 PSK株式会社
7.6.1 PSK Inc 会社概要
7.6.2 PSK Inc 事業概要
7.6.3 PSK Inc ウェハー乾式洗浄装置の主要製品ラインアップ
7.6.4 PSK株式会社 ウェーハドライクリーニング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.6.5 PSK Inc 主要ニュース及び最新動向
7.7 Plasma-Therm
7.7.1 Plasma-Therm 会社概要
7.7.2 Plasma-Thermの事業概要
7.7.3 Plasma-Therm ウェハー乾式洗浄装置の主要製品ラインアップ
7.7.4 プラズマサームのウェーハドライクリーニング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.7.5 プラズマサームの主なニュースと最新動向
7.8 ノベラス・システムズ
7.8.1 ノベラス・システムズ 会社概要
7.8.2 ノベラス・システムズの事業概要
7.8.3 ノベラス・システムズのウェーハ乾式洗浄装置主要製品ラインアップ
7.8.4 ノベラス・システムズ ウェーハドライクリーニング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.8.5 ノベラス・システムズの主要ニュースと最新動向
7.9 オックスフォード・インスツルメンツ
7.9.1 オックスフォード・インスツルメンツ 会社概要
7.9.2 オックスフォード・インスツルメンツの事業概要
7.9.3 オックスフォード・インスツルメンツのウエハー乾式洗浄装置の主要製品ラインアップ
7.9.4 オックスフォード・インストゥルメンツのウェーハドライクリーニング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.9.5 オックスフォード・インストゥルメンツの主要ニュースと最新動向
7.10 KLAコーポレーション
7.10.1 KLAコーポレーション 会社概要
7.10.2 KLA Corporation 事業概要
7.10.3 KLA Corporationのウエハー乾式洗浄装置の主要製品ラインアップ
7.10.4 KLA Corporation ウェーハドライクリーニング装置の世界売上高と収益 (2020-2025)
7.10.5 KLA Corporation 主要ニュース及び最新動向
7.11 TEL NEXX Inc
7.11.1 TEL NEXX Inc 会社概要
7.11.2 TEL NEXX Inc 事業概要
7.11.3 TEL NEXX Inc ウェハー乾式洗浄装置の主要製品ラインアップ
7.11.4 TEL NEXX Inc ウェーハドライクリーニング装置の世界売上高および収益 (2020-2025)
7.11.5 TEL NEXX Inc 主要ニュース及び最新動向
7.12 ルドルフ・テクノロジーズ
7.12.1 ルドルフ・テクノロジーズ 会社概要
7.12.2 ルドルフ・テクノロジーズの事業概要
7.12.3 ルドルフ・テクノロジーズのウェーハ乾式洗浄装置の主要製品ラインアップ
7.12.4 ルドルフ・テクノロジーズのウェーハドライクリーニング装置の世界売上高と収益（2020-2025年）
7.12.5 ルドルフ・テクノロジーズの主要ニュースと最新動向
8 世界のウェーハドライクリーニング装置生産能力、分析
8.1 世界のウェーハドライクリーニング装置生産能力（2020-2031年）
8.2 グローバル市場における主要メーカーのウェーハドライクリーニング装置生産能力
8.3 地域別グローバルウェーハドライ洗浄装置生産量
9 主要市場動向、機会、推進要因および抑制要因
9.1 市場機会と動向
9.2 市場推進要因
9.3 市場の制約要因
10 ウェーハドライクリーニング装置のサプライチェーン分析
10.1 ウェーハ乾式洗浄装置産業バリューチェーン
10.2 ウェーハ乾式洗浄装置の上流市場
10.3 ウェーハドライクリーニング装置の下流市場と顧客
10.4 マーケティングチャネル分析
10.4.1 マーケティングチャネル
10.4.2 グローバルにおけるウェーハドライクリーニング装置の販売代理店および販売代理店
11 結論
12 付録
12.1 注記
12.2 クライアントの例
12.3 免責事項
1.1 Wafer Dry Cleaning Equipment Market Definition
1.2 Market Segments
1.2.1 Segment by Type
1.2.2 Segment by Application
1.3 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Market Overview
1.4 Features & Benefits of This Report
1.5 Methodology & Sources of Information
1.5.1 Research Methodology
1.5.2 Research Process
1.5.3 Base Year
1.5.4 Report Assumptions & Caveats
2 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Overall Market Size
2.1 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size: 2024 VS 2031
2.2 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, Prospects & Forecasts: 2020-2031
2.3 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales: 2020-2031
3 Company Landscape
3.1 Top Wafer Dry Cleaning Equipment Players in Global Market
3.2 Top Global Wafer Dry Cleaning Equipment Companies Ranked by Revenue
3.3 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue by Companies
3.4 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales by Companies
3.5 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Price by Manufacturer (2020-2025)
3.6 Top 3 and Top 5 Wafer Dry Cleaning Equipment Companies in Global Market, by Revenue in 2024
3.7 Global Manufacturers Wafer Dry Cleaning Equipment Product Type
3.8 Tier 1, Tier 2, and Tier 3 Wafer Dry Cleaning Equipment Players in Global Market
3.8.1 List of Global Tier 1 Wafer Dry Cleaning Equipment Companies
3.8.2 List of Global Tier 2 and Tier 3 Wafer Dry Cleaning Equipment Companies
4 Sights by Product
4.1 Overview
4.1.1 Segment by Type - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size Markets, 2024 & 2031
4.1.2 Plasma Cleaning Equipment
4.1.3 Vapor Phase Cleaning Equipment
4.1.4 Physical Cleaning Equipment
4.2 Segment by Type - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue & Forecasts
4.2.1 Segment by Type - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2020-2025
4.2.2 Segment by Type - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2026-2031
4.2.3 Segment by Type - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue Market Share, 2020-2031
4.3 Segment by Type - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales & Forecasts
4.3.1 Segment by Type - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2020-2025
4.3.2 Segment by Type - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2026-2031
4.3.3 Segment by Type - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales Market Share, 2020-2031
4.4 Segment by Type - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Price (Manufacturers Selling Prices), 2020-2031
5 Sights by Application
5.1 Overview
5.1.1 Segment by Application - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2024 & 2031
5.1.2 Semiconductor
5.1.3 Photovoltaic Industry
5.1.4 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)
5.1.5 Optoelectronics Industry
5.1.6 Nanotechnology
5.1.7 Others
5.2 Segment by Application - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue & Forecasts
5.2.1 Segment by Application - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2020-2025
5.2.2 Segment by Application - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2026-2031
5.2.3 Segment by Application - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue Market Share, 2020-2031
5.3 Segment by Application - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales & Forecasts
5.3.1 Segment by Application - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2020-2025
5.3.2 Segment by Application - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2026-2031
5.3.3 Segment by Application - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales Market Share, 2020-2031
5.4 Segment by Application - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Price (Manufacturers Selling Prices), 2020-2031
6 Sights by Region
6.1 By Region - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2024 & 2031
6.2 By Region - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue & Forecasts
6.2.1 By Region - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2020-2025
6.2.2 By Region - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2026-2031
6.2.3 By Region - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue Market Share, 2020-2031
6.3 By Region - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales & Forecasts
6.3.1 By Region - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2020-2025
6.3.2 By Region - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2026-2031
6.3.3 By Region - Global Wafer Dry Cleaning Equipment Sales Market Share, 2020-2031
6.4 North America
6.4.1 By Country - North America Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2020-2031
6.4.2 By Country - North America Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2020-2031
6.4.3 United States Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.4.4 Canada Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.4.5 Mexico Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.5 Europe
6.5.1 By Country - Europe Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2020-2031
6.5.2 By Country - Europe Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2020-2031
6.5.3 Germany Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.5.4 France Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.5.5 U.K. Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.5.6 Italy Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.5.7 Russia Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.5.8 Nordic Countries Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.5.9 Benelux Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.6 Asia
6.6.1 By Region - Asia Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2020-2031
6.6.2 By Region - Asia Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2020-2031
6.6.3 China Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.6.4 Japan Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.6.5 South Korea Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.6.6 Southeast Asia Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.6.7 India Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.7 South America
6.7.1 By Country - South America Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2020-2031
6.7.2 By Country - South America Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2020-2031
6.7.3 Brazil Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.7.4 Argentina Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.8 Middle East & Africa
6.8.1 By Country - Middle East & Africa Wafer Dry Cleaning Equipment Revenue, 2020-2031
6.8.2 By Country - Middle East & Africa Wafer Dry Cleaning Equipment Sales, 2020-2031
6.8.3 Turkey Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.8.4 Israel Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.8.5 Saudi Arabia Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
6.8.6 UAE Wafer Dry Cleaning Equipment Market Size, 2020-2031
7 Manufacturers & Brands Profiles
7.1 Applied Materials
7.1.1 Applied Materials Company Summary
7.1.2 Applied Materials Business Overview
7.1.3 Applied Materials Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.1.4 Applied Materials Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.1.5 Applied Materials Key News & Latest Developments
7.2 Bruker Corporation
7.2.1 Bruker Corporation Company Summary
7.2.2 Bruker Corporation Business Overview
7.2.3 Bruker Corporation Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.2.4 Bruker Corporation Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.2.5 Bruker Corporation Key News & Latest Developments
7.3 IMT Co., Ltd.
7.3.1 IMT Co., Ltd. Company Summary
7.3.2 IMT Co., Ltd. Business Overview
7.3.3 IMT Co., Ltd. Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.3.4 IMT Co., Ltd. Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.3.5 IMT Co., Ltd. Key News & Latest Developments
7.4 Lam Research
7.4.1 Lam Research Company Summary
7.4.2 Lam Research Business Overview
7.4.3 Lam Research Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.4.4 Lam Research Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.4.5 Lam Research Key News & Latest Developments
7.5 Tokyo Electron Limited
7.5.1 Tokyo Electron Limited Company Summary
7.5.2 Tokyo Electron Limited Business Overview
7.5.3 Tokyo Electron Limited Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.5.4 Tokyo Electron Limited Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.5.5 Tokyo Electron Limited Key News & Latest Developments
7.6 PSK Inc
7.6.1 PSK Inc Company Summary
7.6.2 PSK Inc Business Overview
7.6.3 PSK Inc Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.6.4 PSK Inc Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.6.5 PSK Inc Key News & Latest Developments
7.7 Plasma-Therm
7.7.1 Plasma-Therm Company Summary
7.7.2 Plasma-Therm Business Overview
7.7.3 Plasma-Therm Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.7.4 Plasma-Therm Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.7.5 Plasma-Therm Key News & Latest Developments
7.8 Novellus Systems
7.8.1 Novellus Systems Company Summary
7.8.2 Novellus Systems Business Overview
7.8.3 Novellus Systems Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.8.4 Novellus Systems Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.8.5 Novellus Systems Key News & Latest Developments
7.9 Oxford Instruments
7.9.1 Oxford Instruments Company Summary
7.9.2 Oxford Instruments Business Overview
7.9.3 Oxford Instruments Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.9.4 Oxford Instruments Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.9.5 Oxford Instruments Key News & Latest Developments
7.10 KLA Corporation
7.10.1 KLA Corporation Company Summary
7.10.2 KLA Corporation Business Overview
7.10.3 KLA Corporation Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.10.4 KLA Corporation Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.10.5 KLA Corporation Key News & Latest Developments
7.11 TEL NEXX Inc
7.11.1 TEL NEXX Inc Company Summary
7.11.2 TEL NEXX Inc Business Overview
7.11.3 TEL NEXX Inc Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.11.4 TEL NEXX Inc Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.11.5 TEL NEXX Inc Key News & Latest Developments
7.12 Rudolph Technologies
7.12.1 Rudolph Technologies Company Summary
7.12.2 Rudolph Technologies Business Overview
7.12.3 Rudolph Technologies Wafer Dry Cleaning Equipment Major Product Offerings
7.12.4 Rudolph Technologies Wafer Dry Cleaning Equipment Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.12.5 Rudolph Technologies Key News & Latest Developments
8 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Production Capacity, Analysis
8.1 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Production Capacity, 2020-2031
8.2 Wafer Dry Cleaning Equipment Production Capacity of Key Manufacturers in Global Market
8.3 Global Wafer Dry Cleaning Equipment Production by Region
9 Key Market Trends, Opportunity, Drivers and Restraints
9.1 Market Opportunities & Trends
9.2 Market Drivers
9.3 Market Restraints
10 Wafer Dry Cleaning Equipment Supply Chain Analysis
10.1 Wafer Dry Cleaning Equipment Industry Value Chain
10.2 Wafer Dry Cleaning Equipment Upstream Market
10.3 Wafer Dry Cleaning Equipment Downstream and Clients
10.4 Marketing Channels Analysis
10.4.1 Marketing Channels
10.4.2 Wafer Dry Cleaning Equipment Distributors and Sales Agents in Global
11 Conclusion
12 Appendix
12.1 Note
12.2 Examples of Clients
12.3 Disclaimer
| 【ウエハドライクリーニング装置について】 ※ウエハドライクリーニング装置は、半導体製造プロセスにおいて欠かせない重要な機器であり、ウェハ上の汚染物質や微細な粒子を除去するために使用されます。この装置は、物理的な手法や化学的な手法を駆使して、ウェハの表面をクリーンに保つことを目的としています。クリーンであることは、半導体デバイスの性能や信頼性に直接影響を与えるため、ウエハドライクリーニングは非常に重要な工程となります。 まず、ウエハドライクリーニング装置の定義について考えます。この装置は一般的に、ウェハ表面に付着した不純物や汚染物質を物理的または化学的手法を使用して除去する装置として定義されます。これには、粒子除去、フィルム剥離、酸化物除去などが含まれます。従来のウェハクリーニングプロセスでは液体薬剤を使用することが一般的ですが、ドライクリーニングではこれに代わる乾燥技術が用いられます。 次に、ウエハドライクリーニング装置の特徴について述べます。ドライクリーニングの大きな特徴の一つは、液体を使用しないため、環境への影響を軽減できることです。液体洗浄は洗浄後の処理や廃棄物管理が必要ですが、ドライクリーニングはこうした問題を少なくすることができます。また、クリーニングプロセスがより迅速かつ効率的に行えるため、生産性の向上にも寄与します。 さらに、ドライクリーニングでは、ウェハ表面の物理的損傷を避けることができる点も挙げられます。特に薄膜や敏感な材料に対しては、微細な粒子や汚染物質を優しく除去できるため、材料の特性を保持しやすいのです。これにより、従来の液洗と比べて、ウェハ上のパターンや構造をより正確に保つことができます。 種類としては、ウエハドライクリーニングにはいくつかの手法が存在します。代表的な手法には、プラズマクリーニング、イオンビームエッチング、超音波クリーニングなどがあります。プラズマクリーニングは、反応性ガスをプラズマ化し、その活性種を利用してウェハ表面の汚染物質を化学的に除去する方法です。特に、酸化物や有機物に対して高い効果を発揮します。 イオンビームエッチングは、高エネルギーのイオンをウェハ表面に照射して、物理的に汚染物質を吹き飛ばす手法です。これにより、非常に微細な粒子まで効果的に除去することが可能です。また、超音波クリーニングは、超音波振動を利用して洗浄液内に発生させたキャビテーションで汚染物質を除去するプロセスですが、ドライクリーニング技術に応用することもあります。 ウエハドライクリーニング装置の用途については、主に半導体製造プロセスの中で使用されます。たとえば、ウェハのフォトリソグラフィ工程やエッチング工程の前後で行われ、パターン形成やデバイスの電気的特性を向上させるために利用されています。また、製造プロセス中に発生する微細な粉塵や残留物の除去も行われるため、クリーンルーム環境での製造の維持にも寄与します。 関連技術としては、を含めたクリーンルーム技術、フィルタリング技術、ナノメートリクス測定技術などが挙げられます。クリーンルームは、微細な粒子が製造過程に与える影響を最小限に抑えるための特別な環境であり、これによりウエハドライクリーニングの効果がさらに高まります。フィルタリング技術は、空気や液体中の粒子を除去するための技術で、これにより製造環境の清浄度が維持されます。 ナノメートリクス測定技術は、ウェハ表面の状態や汚染物質の有無を定量的に評価するための手法で、クリーニングプロセスの効果を確認するために重要な役割を果たします。これにより、ウエハのできるだけ高い清浄度が保たれることが確保され、最終的には製造されるデバイスの品質を向上させることができます。 このように、ウエハドライクリーニング装置は半導体製造の中で非常に重要な役割を果たしています。その特長、手法、用途、そして関連技術に関して理解を深めることで、より効果的なクリーンプロセスが実現できることが期待されています。半導体業界が進化するにつれて、ウエハドライクリーニングの技術もさらに発展し、より高性能なデバイスの製造に貢献していくでしょう。 |
